Horno CSS de dos zonas de laboratorio para procesamiento térmico rápido de hasta 3" de diámetro y 650 ºC.

OTF-1200X-RTP-II es un horno de procesamiento térmico rápido de dos zonas de calentamiento con tubo de cuarzo de 11" de diámetro exterior. Está diseñado para PVD o CSS ( Sublimación con espacios cerrados ) revestimiento de película de hasta 3" de diámetro o 2"x2" cuadradas. El horno se calienta mediante dos grupos de calentadores halógenos (superior e inferior) por separado con una tasa de calentamiento máxima de 20ºC/s. Dos controladores de temperatura de precisión de 30 segmentos están integrados con Precisión de +/-1 ºC. Puerto RS485 y software de control incluidos para permitir el funcionamiento del horno y el registro del perfil de temperatura a través de PC. Es una herramienta excelente para investigar películas delgadas de nueva generación para células solares, como CdTe, sulfuro y P. Célula solar de erovskita.

ESPECIFICACIONES:

Estructura del horno & Cámara de vacío	· Calentador dual, dos controladores de temperatura, medidores de flujo de gas de dos canales integrados en un marco de aleación de aluminio móvil · La cámara está hecha de tubo de cuarzo fundido de alta pureza. · Tamaño del tubo de cuarzo: 11" OD/10.8" ID x 9" H · Las bridas de vacío están hechas de acero inoxidable 316 · Dimensión total: 850 (L) × 745 (W) × 1615 (H) mm
Bridas de vacío	· Brida superior con un puerto de vacío KFD-25 y dos salidas de gas (se requiere tubería de 1/4") que se puede deslizar hacia arriba o hacia abajo manualmente para cargar y descargar el sustrato y el material evaporado con facilidad · La brida inferior tiene un puerto de vacío KFD-25 con dos entradas de gas (se requiere tubería de 1/4") y válvulas de aguja · La brida está sellada con juntas tóricas dobles de silicona y puede alcanzar una presión de vacío máxima de 10E-2 Torr con una bomba mecánica de calidad y 10E-5 Torr con una bomba molecular (la bomba de vacío no está incluida, pida por separado) · El medidor de vacío digital anticorrosión de precisión está en el paquete estándar (Desde 2016.03.24) .
Medidores de flujo de gas	Dos medidores de flotador están instalados en el panel de control con rango de medición de: · 16 -160 ml/m · 400 - 4000 mL/m (para fines de purga)
Calentador y portamuestras	· Dos lámparas IR de onda corta como elementos calefactores para un calentamiento rápido. · La distancia entre dos calentadores es ajustable de 10 a 50 mm · Los calentadores están hechos de acero inoxidable con camisa de agua fría para reducir la radiación de calor y permitir un enfriamiento rápido · Soporte redondo para obleas de 3" está integrado con calentador superior para cargar el sustrato · Se incluye una placa AlN de alta conductividad térmica (3" de diámetro x 0,5 mm de grosor), que se colocará en la parte posterior del sustrato para que se caliente uniformemente · Se puede usar una placa de grafito de 3" como alternativa para la placa AIN, haga clic en la imagen a continuación para realizar el pedido. · El reemplazo del calentador de luz halógena está disponible a un costo adicional
Controlador de temperatura	· Dos controladores de temperatura digitales de precisión con 30 segmentos programables que ofrecen un control independiente de los calentadores superior e inferior · Cada controlador tiene una función de ajuste automático de PID para proteger los calentadores de sobreimpulsos y una función de alarma para evitar el sobrecalentamiento y la ruptura del par térmico. · Interfaz de comunicación de PC & el software está instalado para (haga clic en la imagen a continuación para obtener más detalles) registrar el perfil de temperatura que se muestra a continuación
Temperatura de trabajo	· Temperatura máxima para cada calentador: <= 650ºC · Diferencia máxima de temperatura entre dos calentadores: <= 300ºC depende del espacio entre dos calentadores: o Espaciado 30 mm Máx. diferencia de temperatura: 315ºC en el fondo de calentamiento solamente o Espaciado 40 mm Máx. diferencia de temperatura: 350ºC en el fondo de calentamiento solamente o Espaciado 50 mm Máx. diferencia de temperatura: 395ºC en el fondo de calentamiento solamente
Calefacción y amp; Velocidad de enfriamiento	· Calefacción: < 8ºC/s (calefacción solo calentador) · Enfriamiento: < 10ºC/s (600 - 100ºC) Máx.
Pareja térmica	Se instalan dos pares térmicos tipo K (expuestos) en los calentadores superior e inferior por separado
Tensión de trabajo	208 - 240 V CA, monofásico, disyuntor de aire de 20 A
Requisitos de energía	2200 W en total (1100 W para cada calentador)
Opcional	· Se requiere una bomba de vacío. Haga su pedido por separado haciendo clic en la primera imagen de la izquierda a continuación. El nivel de vacío puede alcanzar < = 10E-2 torr por bomba mecánica · Si usa gas corrosivo, considere usar la bomba seca anticorrosiva que se muestra en la segunda imagen de la izquierda a continuación (bomba Pfeiffer de Alemania) a un costo adicional · Puede pedir un enfriador de agua de recirculación para ahorrar agua por separado. · Puede elegir el sistema digital de suministro de gas MFC haciendo clic en la primera imagen de la derecha a continuación
Garantía	Un año limitado con soporte de por vida (las piezas consumibles como el tubo de cuarzo y las lámparas de calefacción no están cubiertas por la garantía)
Computadora portátil, software y amp; Control Wi-Fi (Opcional)	· Computadora portátil nueva con Microsoft Windows 10 y Microsoft Office 2013 (prueba gratuita de 30 días) para uso inmediato. · Sistema de control de temperatura basado en Labview ( EQ-MTS01 ) permite al usuario editar el perfil de temperatura, administrar recetas de tratamiento térmico, registrar y trazar datos para hornos MTI. · Un control remoto inalámbrico proporciona un rango de operación de hasta 300 metros. · Las funciones anteriores están disponibles a pedido por un costo adicional (hasta ,000). Por favor contáctenos para más información. · Nota: El software solo es compatible con el controlador de temperatura Yudian de MTI ·
Notas de aplicación	Por favor, lea el artículo: Celda solar CSS CdTe de alta eficiencia
Advertencia	· Los hornos tubulares con tubo de cuarzo están diseñados para uso en vacío y baja presión < 0,2 bares / 3 psi / 0,02 Mpa. Las presiones de vacío solo se pueden utilizar de forma segura hasta 1000 °C. El caudal de los gases debe limitarse a < 200 SCCM (o 200 ml/min) para reducir los choques térmicos en el tubo. · Atención : Se debe instalar un regulador de presión de dos etapas en el cilindro de gas para limitar la presión por debajo de 3 PSI para una operación segura.