PECVD rotatorio horno de tubo (60 mm OD) con calefacción individual zona a 1200 ° C Max.

TMAX-DSP-1200PECVD-XZ s es tres zona 1200ºC PE-CVD tubo horno consiste 500W fuente de plasma de RF, horno de tubo con un medidor de flujo másico de canal integrado precisión con mezcla de tanque, de gas y un horno de alta calidad bomba de vacío oilless. tal PE-CVD es una nueva herramienta para crecer nanocable o grafeno o SiC capa.

Especificaciones:

Cuenta con

energía	3.5 KW
tubo tamaño	Dia 60(OD) X1200mm
producto Dimensiones (mm)	1300 x 420 x 1200
tubo rotatorio velocidad	0 - 25 RPM variable
horno inclinación ángulo	-10-30 °
	1. temperatura de precisión programable dos. Controladores con 30 segmentos. 2. Calefacción controlada por separado dos de Zonas: 200mm de longitud para cada uno calefacción de zona total en calefacción 400mm 250mm constante de longitud central temperatura de superficie de calentamiento Si ambas zonas fueron calentados al mismo temperatura
estructuras de horno	1. Split horno de tubo con el desplazamiento de carril 2. Max 1150ºC para calefacción continua 3. múltiples programables precisión digital Controladores de temperatura con 30 segmentos. 4. de alimentación: 208-240V AC entrada, solo fase en el máximo. 4kw
Plasma RF Power Supply	1. potencia de salida: 5 - 500W ajustable con una estabilidad de ± 1%. 2. RF frecuencia: 13.56 MHz ±0.005% estabilidad. 3. reflexión potencia: 10W máximo. 4. que empareja: Automático 5. Salida de RF de Puerto: 50 Ω, N-tipo, hembra 6. ruido: < 30 dB. 7. de enfriamiento: Refrigeración por aire. 8. potencia: 208-240 v CA, monofásico, 50 / 60Hz
anticorrosivo presión Calibre	1. 3.8x10-5 a 1125 Torres medida gama 2. anticorrosivo, tipo de gas independiente 3. alta precisión y reproducibilidad en atmósfera de presión atmosférica confiable detección 4. rápida detección atmosférica elimina tiempo de espera y acorta el proceso ciclo 5. fácil intercambiar plug & play sensor elemento
bomba de vacío la estación y Válvulas	1. de alta velocidad de Pfeiffer (120L/min) sin aceite Bomba de vacío seca, 10E-3 Torr límite está instalado en el heavy duty carro móvil 2. KF25 adaptador y tubo de acero inoxidable son conectado entre bomba y tubo brida con válvula de bola para el enchufe del cliente y 3. se logra 10E-2 vacío de Torr dentro de proceso del tubo
masa medidores de flujo y Gas mezcla estación	se instala en un carro móvil para trabajo pesado donde el horno de tubo se puede colocar en la parte superior. pantalla táctil LCD integrado para proporcionar fácil control del flujo de gas frecuencia de cada canal independiente. 1. temperatura de trabajo: 5 ~ 45 º c 2. Max. Presión: 3 x 10 6 Pa 3. precisión: ±1, 5% FS 4. trazador de líneas de : ±(0.5-1.5) % F.S. 5. duplicado exactitud: ±0.2%F.S. 6. control Rango: 5,10,20,30,50,100,200,300, 500SCCM o 1,2,3,5, 10SLM.
calefacción y enfriamiento Tasas	puerto RS485 y software se instala y permite control remoto de temperatura Perfil de PC. con el fin de lograr Tasa de Max.Heating, el usuario debe precalentar el horno a la deseada temperatura, a continuación, deslice el horno a la zona de muestra del tubo con el fin de lograr el máximo. velocidad de enfriamiento, hacia el horno caliente de zona caliente frío zona de calefacción tipo: 15° C/seg (RT - 150 ° C); 10° C/seg. (150° C - 250° C); 7° C/seg (250° C -350 ° C); 4 º C/seg (350° C -500 ° C); 3° C/seg (350° C -550 ° C); 2° C/seg (550° C -650 ° C); 1° C/seg (650° C -800 ° C); 0.5° C/seg. (EL ° C 800-1000° C); refrigeración tipo: 15° C/seg. (1000-950° C); 10° C/seg. (950° C - 900° C); 7° C/seg. (900° C - 850° C); 4 º C/seg. (850° C Y 750° C); 2° C/seg. (750° C A 600° C); 1,5 ° C/seg. (600° C Y 500° C); 1° C/seg. (500° C A 400° C); 0.5° C/seg. (400° C - 300° C);
garantía	limitada de un año de garantía con toda la vida apoyo.
notas de aplicación	hornos de tubos con tubos de cuarzo son diseñado para usar bajo vacío y baja presión < 0,12 MPa (absoluta presión). atención: A regulador de presión de dos etapas debe instalarse en el cilindro de gas para limitar la la presión por debajo del 3 PSI para una operación segura. el caudal para gases se deben limitarse a < 200 SCCM (o 200 ml/min) para la reducción de choques térmicos en el tubo. límite de vacío definición para los hornos de tubos de cuarzo: * las presiones de vacío sólo pueden ser utilizado con seguridad hasta 1000° C. para el funcionamiento Sistema de PECVD con tamaño del tubo más grande que 4", por favor siempre tenga más de 1 metro de distancia de la fuente de plasma después de inicia el generador de plasma trabajo.

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nuestras certificaciones

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caliente de la venta productos de la marca

1. de suministramos máquinas con apoyo de tecnología de la batería.

2. suministramos sistema completo de litio batería equipo para la investigación de laboratorio, escala piloto investigación y producción lin e.

& Delivery del embalaje

paquete exportado de 1 estándar: protección anticolisión interna, externa la exportación embalaje caja de madera.

2 envío por expreso, por el aire, por mar según los requisitos de clientes para encontrar el camino más adecuado.

3 responsable de los daños durante el proceso de envío, cambiará el parte de daños para usted para libre.