MFS system

Sistema de control de caudalímetro másico programable Sistema MFS

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    TMAX-MFS
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Detalles del producto

Sistema de control de caudalímetro másico programable Sistema MFS

1. El gas sale del cilindro, a través de la válvula reductora de presión, a través de la tubería de teflón hasta la entrada del sistema de suministro de gas, luego a través del medidor de flujo de protones para controlar el flujo de gas, luego a través del tanque de mezcla de aire y luego hacia la entrada de aire del horno. El gas sale del tubo de salida de aire, a través de la válvula de tres vías, un extremo está conectado con la bomba de vacío y el otro extremo está conectado con la salida de aire.

2. El tanque de mezcla de aire está conectado con un manómetro, y el panel de visualización del manómetro y el medidor de flujo de protones están instalados en el mismo panel.

3. Cada tubería de gas tiene una válvula de cierre de alta presión para garantizar la seguridad.

4. La ruta de gas adopta un rotámetro de gas de alta precisión, y la ruta de gas interna adopta un tubo de teflón, que tiene buena resistencia a la corrosión.

5. Todas las uniones están conectadas por férula, con buena hermeticidad y alta resistencia a la presión.

6. Composición del equipo: tubería de entrada de aire multicanal, caudalímetro de protones, tanque de mezcla de aire y tubería de salida de aire


Características

1. Los clientes personalizan varios canales de entrada de aire, interfaz estándar, conexión conveniente

2. La pantalla táctil de cristal líquido controla e ingresa el flujo de gas de cada canal y visualiza la curva de flujo de gas de cada canal en tiempo real

3. Cada ruta de gas cuenta con una válvula de cierre de alta presión, que es conveniente para cortar la ruta de gas


Especificaciones

ruta de gas /canal

2/3/4/5/6/7/8/9/10 seleccionable

Tipo de gas

Elige por cliente

Gama de caudalímetros

5—500SCCM;1—10SLM seleccionable

tensión de trabajo

220v/50Hz

Diferencia de presión de trabajo

0.1-0.5MPa

Presión máxima

3 MPa

Precisión

±1,5% fondo de escala

Lineal

±0.5~1.5% fondo de escala

Tiempo correspondiente del caudalímetro de protones

<1S

rango de medición

0.1-0.15MPa

Tanque de mezclado

SS 30 4

Entrada y salida de aire

φ 6 mm Interfaz de férula de acero inoxidable

Material de la tubería

Se utiliza una tubería de acero inoxidable de 6 mm de diámetro para la tubería interna; La tubería de teflón de 6 mm se usa para tubería externa

Sistema de control

Sistema de control PLC, entrada de pantalla táctil LCD, control independiente de cada ruta de gas




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