Potencia de entrada

• Monofásico 220 VAC, 50/60Hz
• 700 W (incluyendo bomba de vacío)
• Para usar 110 VAC, le incluiremos un transformador. Seleccione el voltaje en las Opciones de producto

Potencia de salida

• 1600 VCC
• 40 mA máx.

Cámara de vacío

• Cámara de vacío: 150 mm ID x 165 mm OD x 150 mm H, hecha de cuarzo de alta pureza
• Brida de estanqueidad de acero inoxidable con junta tórica plana

Etapa de muestra con calentador

• Tamaño del escenario: 50 mm de diámetro.
• Rango de distancia de pulverización: 25 – 40 mm ajustable
• Platina giratoria con tres posiciones de pulverización (controlada por la pantalla táctil)
• Calentador de sustrato está integrado con una temperatura de calentamiento máxima de 500 °C
• El controlador de temperatura PID con una precisión de +/- 1 °C está integrado en la pantalla táctil

Panel de control

• Pantalla táctil a color de 6” con integración de PLC para una fácil operación
• El indicador de vacío, el medidor de corriente de pulverización catódica y el control de temperatura del sustrato están integrados en el panel de pantalla táctil
• Perillas de ajuste en el panel frontal para la entrada de gas y el control de corriente de pulverización catódica
• La posición de pulverización, el temporizador de pulverización y el registro del proceso son accesibles desde la pantalla táctil

Escudo

• Acero inoxidable jaula de escudo se incluye para protección adicional

Blancos de pulverización catódica

• Requisitos de tamaño objetivo: 47 mm de diámetro. x 2,5 mm máx.
• Se incluyen tres objetivos en el paquete estándar para uso inmediato:
• Objetivo de Australia , 47 mm de diámetro. x 0,12 mm
• objetivo de agricultura , 47 mm de diámetro. x 0,5 mm
• Cu objetivo , 47 mm de diámetro. x 2,5 mm
• varios objetivos están disponibles para ordenar en MTI

Bomba aspiradora
(Opcional)

• Puerto de vacío KF25 incorporado para conectar a una bomba de vacío.
• Se requiere bomba de vacío con conector KF25, pero no incluida. El usuario puede elegir
• A bomba de vacío mecánica de dos etapas para vacío hasta 1.0E-2 Torr.
• o un bomba turbo para vacío hasta 1.0E-5 Torr
• La bomba de vacío se puede enchufar en la toma de corriente a la izquierda de la recubridora para un control automático
• 

Dimensiones

• 440 mm largo × 330 mm ancho × 455 mm alto

Peso neto

• 50 kg

Cumplimiento

• Aprobación CE
• La certificación MET (UL 1450) está disponible a pedido con un costo adicional, comuníquese con nuestro representante de ventas para obtener una cotización

Garantía

• Un año limitado con soporte de por vida

notas de aplicación

• Para obtener la mejor fuerza de adhesión entre la película y el sustrato, limpie la superficie del sustrato antes de aplicar el recubrimiento:
• Limpieza ultrasónica con los siguientes baños secuenciales: (1) acetona, (2) alcohol isopropílico, para eliminar el aceite y la grasa. Seque el sustrato con N2 y luego hornee en caliente al vacío para eliminar la humedad absorbida.
• La limpieza con plasma puede ser necesaria para la rugosidad de la superficie, la activación de los enlaces químicos de la superficie o la eliminación adicional de la contaminación.
• Se podría aplicar una fina capa amortiguadora (~5 nm), como Cr, Ti, Mo, Ta, para mejorar la adhesión de metales y aleaciones.

• Se debe instalar un regulador de presión de dos etapas (no incluido) en el cilindro de gas para limitar la presión de salida del gas por debajo de 0,02 MPa para un uso seguro. Utilice > Gas Ar de pureza 5N para pulverización catódica de plasma
• El recubridor de pulverización catódica se puede colocar en una guantera de gas Ar y N2 para recubrir
• ¡ALTO VOLTAJE! Los cabezales de pulverización se conectan a alto voltaje. Por seguridad, el operador debe apagar el equipo antes de las operaciones de carga de muestras y cambio de objetivos.
• Este modelo no es adecuado para recubrir materiales metálicos ligeros como Al, Mg, Zn, Ni, etc. debido a la baja energía. Considere nuestro recubridor de pulverización catódica de magnetrón o el recubridor de evaporación térmica. Haga clic en las imágenes de abajo para más detalles