Horno CSS de dos zonas con soporte giratorio para obleas de hasta 5x5" a 800°C máx. - OTF-1200X-RTP-II-5-R

El OTF-1200X-RTP-II-5-R es un horno avanzado de procesamiento térmico rápido con cámara de cuarzo de 11" de D.I. y portamuestras giratorio de 5"x5". Está diseñado para el recubrimiento con película CSS de muestras de obleas circulares o cuadradas de hasta 5" a una temperatura de trabajo de 800 °C máx. El horno se calienta mediante dos grupos de calentadores halógenos (superior e inferior) por separado con un máx. 10 º C/s velocidad de calentamiento. El portamuestras superior es giratorio para lograr un recubrimiento de alta uniformidad. Es una excelente herramienta para investigar películas delgadas de nueva generación para células solares, como CdTe, Sulfuro y P. Célula solar de erovskita.

ESPECIFICACIONES:

Estructura del horno	Horno, dos controladores de temperatura, medidores de flujo de gas de dos canales están integrados en un marco de aleación de aluminio móvil. La cámara está hecha de tubo de cuarzo fundido de alta pureza con una dimensión de 11" de diámetro exterior/10,8" de diámetro interior x 9" de alto. Las bridas de vacío son de Acero Inoxidable 316 y elevación por motor eléctrico. Dos placas de calentamiento IR de 5"x5" y el espacio son ajustables. El portamuestras superior es giratorio a una velocidad de 0 a 7 RPM.
Bridas de vacío	La brida superior con un puerto de vacío KFD-25 y una salida de gas (se requiere tubería de 1/4") se puede deslizar hacia arriba o hacia abajo manualmente para cargar y descargar el sustrato y el material evaporado con facilidad. La brida inferior tiene un puerto de vacío KFD-25 con una entrada de gas (se requiere tubería de 1/4") con válvulas de aguja. La brida está sellada por juntas tóricas dobles de silicona y puede alcanzar un máx. la presión de vacío de 10E-2 Torr por una calidad bomba mecánica y 10E-5 Torr por una bomba molecular (la bomba de vacío no está incluida, por favor ordene por separado). Un indicador de vacío digital está instalado en la brida superior. El medidor de vacío digital anticorrosión de precisión está en el paquete estándar (Desde 2016.03.24) .
Calentador y portamuestras	Dos calentadores controlados independientemente con espacio ajustable manualmente de 2 a 30 mm. Se utilizan 20 lámparas halógenas como elemento calefactor para un procesamiento térmico rápido. Los calentadores están hechos de acero inoxidable con camisa de agua fría para reducir la radiación de calor y son capaces de enfriarse rápidamente. 5" de diámetro. El soporte de oblea circular está integrado en el calentador superior para sujetar el sustrato. Se incluye un juego de placas AlN de alta conductividad térmica (5" de diámetro x 0,5 mm de grosor) (coloque en la parte posterior del sustrato para que se caliente uniformemente). Se incluye un enfriador de agua circulante de 58 l/min para ahorrar agua (haga clic en la imagen a continuación para ver las especificaciones detalladas). El portamuestras superior es giratorio a una velocidad ajustable de 0 a 7 RPM
Controlador de temperatura	Dos controladores de temperatura digitales de precisión con 30 segmentos programables ofrecen un control independiente de los calentadores superior e inferior. Cada controlador tiene una función de autoajuste de PID para proteger los calentadores de un exceso y una función de alarma para evitar que el sobrecalentamiento dañe los pares térmicos. Interfaz de comunicación de PC & el software está instalado para (haga clic en la imagen a continuación para obtener más detalles) registrar el perfil de temperatura que se muestra a continuación.
Temperatura de trabajo	Temperatura máxima para cada calentador: ≤ 800ºC. Diferencia máxima de temperatura entre dos calentadores: ≤ 300ºC depende del espacio entre dos calentadores: Espaciado 30 mm Máx. diferencia de temperatura: 315ºC en el fondo de calentamiento solamente
Calefacción y amp; Velocidad de enfriamiento	Calefacción: < 8ºC/s (calefacción solo calentador) Enfriamiento: < 10ºC/s (600 - 100ºC) Máx.
Pareja térmica	Se instalan dos pares térmicos tipo K en los calentadores superior e inferior por separado.
Tensión de trabajo	208 - 240 V CA, monofásico, disyuntor de aire de 50 A
Requisitos de energía	10 kilovatios totales
Dimensiones	(Haga clic en la imagen para ver la dimensión)
Peso de envío & Dimensión	Dos tarimas: 525 lbs y 48" x 40" x 87" y 165 libras con una dimensión de 39x31x29"
Opcional	Se requiere una bomba de vacío. Haga su pedido por separado haciendo clic en la primera imagen de la izquierda a continuación. El nivel de vacío puede alcanzar ≤ 10E-2 torr mediante bomba mecánica. Si usa gas corrosivo, use una trampa fría o una bomba seca anticorrosiva que se muestra en la imagen 2-3 a un costo adicional. Puede elegir el sistema digital de suministro de gas MFC haciendo clic en la primera imagen de la derecha a continuación.
Garantía	Un año limitado con soporte de por vida (las piezas consumibles como el tubo de cuarzo y las lámparas de calefacción no están cubiertas por la garantía).
Notas de aplicación & Advertencias	Los hornos tubulares con tubo de cuarzo están diseñados para uso en vacío y baja presión < 0,2 bares / 3 psi / 0,02 Mpa. Las presiones de vacío solo se pueden utilizar de forma segura hasta 1000 °C. El caudal de los gases debe limitarse a < 200 SCCM (o 200 ml/min) para reducir los choques térmicos en el tubo. A atención : Se debe instalar un regulador de presión de dos etapas en el cilindro de gas para limitar la presión por debajo de 3 PSI para una operación segura. El soporte de pie de este horno está diseñado para transporte de distancias cortas en una superficie uniforme (sin hoyos ni protuberancias) únicamente.