Horno CSS de laboratorio de dos zonas para procesamiento térmico rápido de obleas de hasta 5" de diámetro a un máximo de 800 °C
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Horno CSS de dos zonas de laboratorio para procesamiento térmico rápido de hasta 3" de diámetro y 650 ºC.Siguiente:
Máquina recubridora de evaporación térmica ultrasónica de alto vacío con cuatro fuentes de calefacción (10-6 torr)
Horno CSS de laboratorio de dos zonas para procesamiento térmico rápido de obleas de hasta 5" de diámetro a un máximo de 800 °C - OTF-1200X-RTP-II-5
OTF-1200X-RTP-II-5 es un horno de procesamiento térmico rápido con cámara de cuarzo de 11" D.I. Está diseñado para evaporación térmica o CSS ( Sublimación con espacios cerrados ) revestimiento de película de muestras circulares de hasta 5" de diámetro y 800 °C máx. El horno se calienta mediante dos grupos de calentadores halógenos (superior e inferior) por separado con un máx. 10ºC/s velocidad de calentamiento. Dos controladores de temperatura de precisión de 30 segmentos están integrados con una precisión de +/-1ºC. El puerto RS485 y el software de control están incluidos para permitir la operación del registro del perfil de temperatura y del horno a través de una PC. Es una excelente herramienta para investigar películas delgadas de nueva generación para células solares, como CdTe, sulfuro y células solares de perovskita.
ESPECIFICACIONES:
Estructura del horno & Cámara de vacío |
· Dos controladores de temperatura. · La cámara está hecha de tubo de cuarzo fundido de alta pureza. · Tamaño del tubo de cuarzo: 11" OD/10.8" ID x 9" H · Las bridas de vacío están hechas de acero inoxidable 316. |
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Bridas de vacío
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· La brida superior con un puerto de vacío KFD-25 y una salida de gas (se requiere tubería de 1/4") se puede deslizar hacia arriba o hacia abajo manualmente para cargar y descargar el sustrato y el material evaporado con facilidad. · La brida inferior tiene un puerto de vacío KFD-25 con una entrada de gas (se requiere tubería de 1/4") con válvulas de aguja. · La brida está sellada por juntas tóricas dobles de silicona y puede alcanzar un máx. la presión de vacío de 10E-2 Torr por una bomba mecánica de calidad y 10E-5 Torr por una bomba molecular (la bomba de vacío no está incluida, pida por separado). · Un indicador de vacío digital está instalado en la brida superior. · El medidor de vacío digital anticorrosión de precisión está en el paquete estándar (Desde 2016.03.24) . |
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Control de flujo de gases
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· Dos calentadores controlados independientemente con un espacio ajustable manualmente de 2 a 30 mm. · Se utilizan 20 lámparas halógenas como elemento calefactor para un procesamiento térmico rápido. · Los calentadores están hechos de acero inoxidable con camisa de agua fría para reducir la radiación de calor y permitir un enfriamiento rápido. · 5" de diámetro. El soporte de oblea circular está integrado en el calentador superior para sujetar el sustrato. · Se incluye un juego de placas AlN de alta conductividad térmica o placa de grafito (5" de diámetro x 0,5 mm de grosor) (coloque en la parte inferior para evaporar el material) · Se incluye un enfriador de agua circulante de 58 l/min para ahorrar agua (haga clic en la imagen a continuación para ver las especificaciones detalladas). |
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· Dos controladores de temperatura digitales de precisión con 30 segmentos programables ofrecen un control independiente de los calentadores superior e inferior. · Cada controlador tiene una función de autoajuste PID para proteger a los calentadores de un exceso y una función de alarma para evitar el sobrecalentamiento y la ruptura de un par térmico. · Interfaz de comunicación de PC & El software está instalado para registrar el perfil de temperatura que se muestra a continuación. · |
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· Temperatura máxima para cada calentador: <= 800ºC. · Diferencia máxima de temperatura entre dos calentadores: <= 300ºC depende del espacio entre dos calentadores: o Espaciado 30 mm Máx. diferencia de temperatura: 315ºC en el fondo de calentamiento solamente |
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Calefacción y amp; Velocidad de enfriamiento |
· Calefacción: < 8ºC/s (calefacción solo calentador) · Enfriamiento: < 10ºC/s (600 - 100ºC) Máx. |
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Se instalan dos pares térmicos tipo K en los calentadores superior e inferior por separado. |
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Tensión de trabajo |
Se requiere disyuntor de aire de 220 V CA, monofásico, 60 A |
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Requisitos de energía |
9.5KW totales |
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Dimensiones |
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Peso de envío & Dimensión |
· Dos tarimas: 525 lbs y 48" x 40" x 87" y 165 lbs con dimensión 39x31x29" |
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· Se requiere una bomba de vacío. Haga su pedido por separado haciendo clic en la primera imagen de la izquierda a continuación. El nivel de vacío puede alcanzar < = 10E-2 torr por bomba mecánica. · Si usa gas corrosivo, considere usar la bomba seca anticorrosiva que se muestra en la segunda imagen de la izquierda a continuación (bomba Pfeiffer de Alemania) a un costo adicional. · Puede elegir el sistema digital de suministro de gas MFC haciendo clic en la primera imagen de la derecha a continuación. |
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Garantía |
Un año limitado con soporte de por vida (las piezas consumibles como el tubo de cuarzo y las lámparas de calefacción no están cubiertas por la garantía). |
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Computadora portátil, software y amp; Control Wi-Fi (Opcional) |
· Computadora portátil nueva con Microsoft Windows 10 y Microsoft Office 2013 (prueba gratuita de 30 días) para uso inmediato. · Sistema de control de temperatura basado en Labview ( EQ-MTS01 ) permite al usuario editar el perfil de temperatura, administrar recetas de tratamiento térmico, registrar y trazar datos para hornos MTI. · Un control remoto inalámbrico proporciona un rango de operación de hasta 300 metros. · Las funciones anteriores están disponibles a pedido por un costo adicional (hasta ,000). Por favor contáctenos para más información. · Nota: El software solo es compatible con Tmáx Controlador de temperatura Yudian de |
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· Los hornos tubulares con tubo de cuarzo están diseñados para uso en vacío y baja presión < 0,2 bares / 3 psi / 0,02 Mpa. Las presiones de vacío solo se pueden utilizar de forma segura hasta 1000 °C. El caudal de los gases debe limitarse a < 200 SCCM (o 200 ml/min) para reducir los choques térmicos en el tubo. · Atención : Se debe instalar un regulador de presión de dos etapas en el cilindro de gas para limitar la presión por debajo de 3 PSI para una operación segura. · El soporte de pie de este horno está diseñado para el transporte de distancias cortas en una superficie uniforme |






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1085 mm largo x 680 mm ancho x 1710 mm alto




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