productos
Laboratory Tube Furnace

Laboratorio C 1200 Max. Dos zona alta temperatura PECVD horno de tubo (diámetro del tubo opcional) con Auto - desplazamiento

  • Model Number:

    TMAX-DSP-1200PECVD
  • MOQ:

    1
  • Pago:

    L/C D/A D/P T/T Western Union
  • Delivery Time:

    15 day
  • Contactar ahora
Detalles del producto

1200ºC Max. Dos zona PECVD horno de tubo (diámetro del tubo opcional) con Auto-correderas

TMAX-DSP-1200PECVD es un desplazable PE-CVD tubo horno sistema de zona dual consiste en fuente de plasma de RF, con el tamaño del tubo y un integral carril desplazable, precisión medidor de flujo másico de gas mezcla de tanque y una bomba de vacío de aceite de alta calidad. un horno de PE-CVD es una nueva herramienta para crecer nanocable o grafeno con los siguientes beneficios:
1. procesamiento de temperatura inferior en comparación con el convencional CVD.

2. calefacción y refrigeración alta tarifa usando el horno de corredera.

3. 1200ºC máximo. temperatura de trabajo.

4. ofrece una amplia gama de la deposición de materiales, tales como carbón y ZnO nanocable (o tubo) y grafema de una sola capa.

especificaciones :

Cuenta con

modelo

DSP-1200 ° c - PECVD-me

DSP-1200 ° c - PECVD-II

DSP-1200 ° c - PECVD III

DSP-1200 ° c - PECVD-IV

energía

3 KW

3 KW

4 KW

4 KW

tubo tamaño

Dia 60(OD) X1800mm

Dia 80(OD) X1800mm

Dia 100(OD) X1800mm

Dia120 (OD) X1800mm

producto Dimensiones (mm)

1800 x 410 x 610

1800 x 410 x 610

1800 x 460 x 660

1800 x 460 x 660

1. temperatura de precisión programable dos. Controladores con 30 segmentos.

2. calefacción controlados por separado dos Zonas:

    • 200mm de longitud para cada uno calefacción de zona
    • total en calefacción 400mm
    • 250mm constante de longitud central temperatura de superficie de calentamiento Si ambas zonas fueron calentados al mismo temperatura

estructuras de horno

1. Split horno de tubo con el desplazamiento de carril

2. Max 1150ºC para calefacción continua

3. múltiples programables precisión digital Controladores de temperatura con 30 segmentos.

4. de alimentación: 208-240V AC entrada, solo fase en el máximo. 4kw

Plasma RF Power Supply

1. potencia de salida: 5 - 500W ajustable con una estabilidad de ± 1%.

2. RF frecuencia: 13.56 MHz ±0.005% estabilidad.

3. reflexión potencia: 10W máximo.

4. que empareja: automático

5. Salida de RF de Puerto: 50 Ω, N-tipo, hembra

6. ruido: < 30 dB.

7. de enfriamiento: Refrigeración por aire.

8. potencia: 208-240 v CA, monofásico, 50 / 60Hz

anticorrosivo presión Calibre

1. 3.8x10-5 a 1125 Torres medida gama

2. anticorrosivo, tipo de gas independiente

3. alta precisión y reproducibilidad en atmósfera de presión atmosférica confiable detección

4. rápida detección atmosférica elimina tiempo de espera y acorta el proceso ciclo

5. fácil intercambiar plug & play sensor elemento

bomba de vacío la estación y Válvulas

1. de alta velocidad de Pfeiffer (120L/min) sin aceite Bomba de vacío seca, 10E-3 Torr límite está instalado en el heavy duty carro móvil

2. KF25 adaptador y tubo de acero inoxidable son conectado entre bomba y tubo brida con válvula de bola para el enchufe del cliente y

3. se logra 10E-2 vacío de Torr dentro de proceso del tubo

masa medidores de flujo y Gas mezcla estación

se instala en un carro móvil para trabajo pesado donde el horno de tubo se puede colocar en la parte superior. pantalla táctil LCD integrado para proporcionar fácil control del flujo de gas frecuencia de cada canal independiente.

1. temperatura de trabajo: 5 ~ 45 º c

2. Max. Presión: 3 x 10 6 Pa

3. precisión: ±1, 5% FS

4. trazador de líneas de : ±(0.5-1.5) % F.S.

5. duplicado exactitud: ±0.2%F.S.

6. control Rango: 5,10,20,30,50,100,200,300, 500SCCM o 1,2,3,5, 10SLM.

calefacción y enfriamiento Tasas

    • puerto RS485 y software se instala y permite control remoto de temperatura Perfil de PC.
    • con el fin de lograr Tasa de Max.Heating, el usuario debe precalentar el horno a la deseada temperatura, a continuación, deslice el horno a la zona de muestra de la de tubo
    • con el fin de lograr el máximo. velocidad de enfriamiento, hacia el horno caliente de zona caliente frío zona

de calefacción tipo:

15° C/seg (RT - 150 ° C);

10° C/seg. (150° C - 250° C);

7° C/seg (250° C -350 ° C);

4 º C/seg (350° C -500 ° C);

3° C/seg (350° C -550 ° C);

2° C/seg (550° C -650 ° C);
1° C/seg (650° C -800 ° C);
0.5° C/seg. (EL ° C 800-1000° C);

refrigeración tipo:

15° C/seg. (1000-950° C);

10° C/seg. (950° C - 900° C);

7° C/seg. (900° C - 850° C);

4 º C/seg. (850° C Y 750° C);

2° C/seg. (750° C A 600° C);
1,5 ° C/seg. (600° C Y 500° C);
1° C/seg. (500° C A 400° C);
0.5° C/seg. (400° C - 300° C);

garantía

limitada de un año de garantía con toda la vida apoyo.

notas de aplicación

hornos de tubos con tubos de cuarzo son diseñado para usar bajo vacío y baja presión < 0,12 MPa (absoluta presión).
atención: A regulador de presión de dos etapas debe instalarse en el cilindro de gas para limitar la la presión por debajo del 3 PSI para una operación segura.
el caudal para gases se deben limitarse a < 200 SCCM (o 200 ml/min) para la reducción de choques térmicos en el tubo.
límite de vacío definición para los hornos de tubos de cuarzo: * las presiones de vacío sólo pueden ser utilizado con seguridad hasta 1000° C.
para el funcionamiento Sistema de PECVD con tamaño del tubo más grande que 4", por favor siempre tenga más de 1 metro de distancia de la fuente de plasma después de inicia el generador de plasma trabajo.

detalladas imágenes

Laboratory Tube Furnace

Laboratory Tube Furnace

nuestras certificaciones

cooperativa de la marca de fábrica Productos de venta caliente de


1. de suministramos máquinas con apoyo de tecnología de la batería.

2. suministramos completo set de litio batería equipo para la investigación de laboratorio, escala piloto investigación y producción lin e.


Laboratory Tube Furnace

& Delivery del embalaje


paquete exportado de 1 estándar: protección anticolisión interna, externa la exportación embalaje caja de madera.

2 envío por expreso, por el aire, por mar según los requisitos de clientes para encontrar el camino más adecuado.

3 responsable de los daños durante el proceso de envío, cambiará el parte de daños para usted para libre.




consulta ahora

    Le daremos una cotización en 24 horas. dará una cita dentro de 24 horas.

      Laboratorio C 1200 Max. Dos zona alta temperatura PECVD horno de tubo (diámetro del tubo opcional) con Auto - desplazamiento

    Contact Us:

    Xiamen Tmax Battery Equipments Limited.

    Añadir:No. 39, Xinchang Road, Xinyang, Haicang Dist., Xiamen, Fujian, China (Mainland)

    Correo electrónico:[email protected]
    Correo electrónico:[email protected]
    Skype:[email protected]