Sistema de evaporación térmica de cuatro fuentes con precisión

Controlador de temperatura

GSL-1700X-EV4 es un sistema de evaporación térmica compacto con un total de 4 crisoles fuente de evaporación y control de temperatura programable y de precisión. Se podrían usar cuatro crisoles de evaporación para depositar múltiples materiales diferentes para hacer crecer películas multicapa una por una en la misma atmósfera de la cámara. El sistema es adecuado para recubrir la mayoría de materiales metálicos y orgánicos con película de hasta 2" de 200 ºC a 1500 ºC (o 200 ºC - 1700 ºC con un termopar tipo B opcional).

ESPECIFICACIONES:

Estructura & Características	280 mm de diámetro exterior x 260 mm D.I. Cámara de cuarzo de 310 mm de altura para facilitar la limpieza y la carga de muestras Fuentes de evaporación giratorias de 2" de diámetro para el recubrimiento de película uniforme Calentador de bobina de tungsteno y crisol de alúmina para recubrimiento a alta temperatura hasta 1700 ºC Control de temperatura de precisión con 30 segmentos programables y precisión de +/- 1 ºC Se puede lograr un alto vacío de hasta 1.0E-5 Torr a través de una turbobomba opcional El puerto de flujo de gas y la válvula están integrados para la purga de la cámara y la posibilidad de CVD
Potencia de entrada	Voltaje de entrada: AC 208 - 240 V 50/60 Hz, monofásico (110 V AC está disponible a través de un transformador de 1500 W) Potencia de entrada: 1200 W potencia de salida: 12 V y 30 A de corriente máx. Corriente de trabajo recomendada <30 A Cable de alimentación incluido sin enchufe
Control de temperatura y amplificador; Calentadores	Cuatro crisoles de evaporación de alúmina con 3 ml cada uno de capacidad. No se pueden utilizar cuatro fuentes al mismo tiempo. El depósito de las multicapas se haría una a una. El calentador de bobina de tungsteno con un termopar está integrado en la parte inferior del crisol de alúmina (para control de temperatura (FOTO 1). Consulte la imagen de la izquierda para ver las dimensiones Termopar tipo S estándar (incluido e instalado) - calentamiento de 200 ºC - 1500 ºC (FOTO 2) Termopar tipo B opcional (con coste adicional) - calentamiento de 1200 ºC - 1700 ºC Un controlador de temperatura digital con 30 segmentos programables y precisión de +/- 1 ºC (FOTO. 3) Los ajustes de tiempo del controlador de temperatura están en segundos. Se recomienda limitar la velocidad de calentamiento/enfriamiento de temperatura a 0,3 ºC/s (o 20 ºC/min) por debajo de 1200 ºC, y limitar a 0,15 ºC/s (o 10 ºC/min) de 1200 a 1700 ºC Para calentamiento continuo por encima de 1300 ºC, limite el tiempo de operación a menos de 1 hora para preservar la vida útil de la junta tórica de la brida inferior Para un recubrimiento rápido de hasta 2000 °C, como el que se necesita en el recubrimiento de carbono, el usuario puede quitar el termopar, el bloque térmico de alúmina y el crisol de alúmina, cargar el material de evaporación directamente en el calentador del serpentín de tungsteno y usar el modo de control manual actual (FOTO. 4 ) Se incluyen cuatro crisoles de alúmina (hasta 1700 ºC) y dos calentadores de bobina de tungsteno. Consulte la sección Opcional para pedir piezas de repuesto.
Portamuestras giratorio	Uno de 50 mm de diámetro. la etapa de muestra giratoria y su obturador están instalados en la brida superior. Velocidad de rotación: 5 rpm La distancia desde el portamuestras hasta la fuente de evaporación es ajustable de 40 mm a 85 mm
Sistema de análisis de espesor de película (opcional)	Película fina de precisión & Sistemas de análisis de recubrimiento: EQ-TFMS-LD está disponible a un costo adicional.
Vacío	El puerto de vacío KF25 está instalado para conectarse a una bomba de vacío El vacío más alto puede alcanzar <1E-5 Torr si se bombea durante la noche con una bomba turbomolecular opcional Se requiere una bomba de vacío para el recubrimiento. Elija entre las siguientes opciones de productos Bomba de vacío de paletas rotativas de doble etapa con trampa de vapor para eliminar la neblina de aceite, que puede alcanzar un vacío de hasta 1.0E-2 Torr para evaporar materiales metálicos nobles, como oro, plata y materiales orgánicos.
Entrada de Gas	El accesorio de tubo de 1/4 está incorporado para la purga de la cámara o el procesamiento de gas de formación Una válvula de aguja está integrada para controlar el caudal de gas
Opcional	Se puede pedir un crisol de alúmina adicional y un calentador de bobina de tungsteno en TMAX a un costo adicional
Dimensión global
Dimensión de la cámara de cuarzo	Diámetro exterior: 280 mm (11") DI: 260 mm (10,2") Longitud: 310 mm (12,2")
Cumplimiento	Certificado CE
Garantía	Garantía limitada de un año con soporte de por vida
Peso neto	80 kg
Peso de envío & Dimensiones	200 libras, 40" x 30" x 32"
notas de aplicación	Para lograr el alto vacío requerido para la evaporación de algunos materiales, el usuario puede Revise la cámara, la junta tórica y la brida en busca de partículas, fibras o rayones. Use un paño sin pelusa humedecido con alcohol isopropílico (IPA) para limpiar la superficie Use cinta calentadora para hornear la cámara a 150 ºC y precaliente el calentador del serpentín y el crisol a 500 ºC mientras bombea con la turbobomba opcional durante al menos 2 horas Bombee la cámara durante la noche sin calentar si se necesita un vacío superior a 1,0E-5 Torr ¡NO inicie el programa de calentamiento ni aumente manualmente la corriente sin una cámara cerrada y una aspiradora! ¡NO libere el vacío ni deje de bombear cuando la recubridora esté en operación de evaporación! ¡Durante el enfriamiento del calentador, deje de bombear o libere el vacío SÓLO cuando la temperatura descienda por debajo de 100 ºC!