Recubridor de evaporación térmica de alto vacío con control de temperatura de precisión

GSL-1700X-SPC-2 es una recubridora de evaporación térmica compacta con control de temperatura programable y de precisión, que es adecuada para recubrir la mayoría de materiales orgánicos y metálicos con película de hasta 2" de 200 ºC a 1500 ºC (o 200 ºC - 1700 ºC con un termopar tipo B opcional) Se incorpora un soporte de muestra giratorio para permitir un recubrimiento de película uniforme.

ESPECIFICACIONES:

Estructura & Características	Cámara de cuarzo de 6" OD x 10"H para facilitar la limpieza y la carga de muestras Portamuestras giratorio de 2" de diámetro para un revestimiento de película uniforme Calentador de bobina de tungsteno y crisol de alúmina para recubrimiento a alta temperatura hasta 1700 ºC Control de temperatura de precisión con 30 segmentos programables y precisión de +/- 1 ºC Se puede lograr un alto vacío de hasta 1.0E-5 Torr a través de una turbobomba opcional El puerto de flujo de gas y la válvula están integrados para la purga de la cámara y la posibilidad de CVD
Potencia de entrada	Voltaje de entrada: 208 - 240 VAC 50/60 Hz, monofásico Potencia de entrada: 500W Potencia de salida: corriente máxima de 40 A. Corriente de trabajo recomendada <20 A Cable de alimentación incluido sin el enchufe
Control de temperatura y amplificador; Calentadores	El calentador de bobina de tungsteno con un termopar está integrado en la parte inferior del crisol de alúmina (para control de temperatura (FOTO 1). Consulte la imagen de la izquierda para ver las dimensiones Termopar tipo S estándar (incluido e instalado) - calentamiento de 200 ºC - 1500 ºC (FOTO 2) Termopar tipo B opcional (con coste adicional) - calentamiento de 1200 ºC - 1700 ºC Un controlador de temperatura digital con 30 segmentos programables y precisión de +/- 1 ºC (FOTO. 3) Los ajustes de tiempo del controlador de temperatura están en segundos. Se recomienda limitar la velocidad de calentamiento/enfriamiento de temperatura a 0,3 ºC/s (o 20 ºC/min) por debajo de 1200 ºC, y limitar a 0,15 ºC/s (o 10 ºC/min) de 1200 a 1700 ºC Para calentamiento continuo por encima de 1300 ºC, limite el tiempo de funcionamiento a menos de 1 hora para prolongar la vida útil de la junta tórica de la brida inferior Para un recubrimiento rápido de hasta 2000 °C, como el que se necesita en el recubrimiento de carbono, el usuario puede quitar el termopar, el bloque térmico de alúmina y el crisol de alúmina, cargar el material de evaporación directamente en el calentador del serpentín de tungsteno y usar el modo de control manual actual (FOTO. 4 ) Se incluyen cuatro crisoles de alúmina (hasta 1700 ºC) y dos calentadores de bobina de tungsteno. Consulte la sección Opcional para pedir piezas de repuesto.
Portamuestras	Uno de 50 mm de diámetro. la etapa de muestra giratoria y su obturador están instalados en la brida superior. Velocidad de rotación: 5 rpm La distancia desde el portamuestras hasta la fuente de evaporación es ajustable de 40 mm a 85 mm
Monitor de espesor de película (opcional)	Sensor de espesor de cuarzo de precisión es opcional. Puede integrarse en la cámara para proporcionar un control instantáneo del espesor de la película con una precisión de 0,10 Å. La unidad de pantalla LED fuera de la cámara puede: · Ingrese la información del material de recubrimiento basada en la base de datos incluida Muestra el espesor total del recubrimiento y la velocidad del recubrimiento Precisión Película fina y amplificador; Sistemas de análisis de recubrimientos - EQ-TFMS-LD está disponible a un costo adicional
Vacío	El puerto de vacío KF25 está instalado para conectarse a una bomba de vacío El vacío más alto puede alcanzar <4.0E-6 Torr si se bombea durante la noche con una bomba turbomolecular opcional Se requiere una bomba de vacío para el recubrimiento. Elija entre las siguientes opciones de productos Sin bomba de vacío. Medidor de diafragma de capacitancia anticorrosivo se incluye para vacío hasta 1.0E-6 Torr Bomba de vacío de paletas rotativas de doble etapa con trampa de vapor para eliminar la neblina de aceite, que puede alcanzar un vacío de hasta 1.0E-2 Torr para evaporar materiales metálicos nobles, como oro, plata y materiales orgánicos.
Entrada de Gas	El accesorio de tubo de 1/4 está incorporado para la purga de la cámara o el procesamiento de gas de formación Una válvula de aguja está integrada para controlar el caudal de gas
Opcional	Extra crisol de alúmina y calentador de bobina de tungsteno se puede pedir en TMAX a un costo adicional Se podrían usar 4 crisoles de fuentes de evaporación en total para depositar múltiples materiales diferentes para hacer crecer multicapas una por una en la misma atmósfera de la cámara.
Dimensión global
Dimensión de la cámara de cuarzo	Diámetro exterior: 165 mm ID: 150 mm Longitud: 250 mm
Cumplimiento	Certificado CE
Garantía	Garantía limitada de un año con soporte de por vida
Peso neto	50 kg
Peso de envío & Dimensiones	130 libras, 40" x 30" x 32"
notas de aplicación	Para lograr el alto vacío requerido para la evaporación de algunos materiales, el usuario puede Revise la cámara, la junta tórica y la brida en busca de partículas, fibras o rayones. Use un paño sin pelusa humedecido con alcohol isopropílico (IPA) para limpiar la superficie Use cinta calentadora para hornear la cámara a 150 ºC y precaliente el calentador del serpentín y el crisol a 500 ºC mientras bombea con la bomba turbo opcional durante al menos 2 horas Bombee la cámara durante la noche sin calentar si se necesita un vacío superior a 1,0E-5 Torr El recubridor se puede colocar en una guantera de gas Ar o N2 para la evaporación térmica de la humildad & materiales sensibles al oxígeno, como el metal Li. ¡NO inicie el programa de calentamiento ni aumente manualmente la corriente sin una cámara cerrada y una aspiradora! ¡NO libere el vacío ni deje de bombear cuando la recubridora esté en operación de evaporación! ¡Durante el enfriamiento del calentador, deje de bombear o libere el vacío SÓLO cuando la temperatura descienda por debajo de 100 ºC!