Recubridor de película dos en uno: máquina de recubrimiento por evaporación de carbono y pulverización catódica de plasma

GSL-1100X-SPC-16C-LD es una unidad de recubrimiento compacta dos en uno con Bomba de vacío de paletas rotativas de doble paso, que integra la pulverización catódica de plasma y la evaporación en una máquina pequeña. Está especialmente diseñado para preparar muestras SEM y EDAX para análisis de composición de microestructuras y microáreas en análisis de materiales a bajo costo. para recubrir diversos materiales, incluido el carbono.

ESPECIFICACIONES

Voltaje de entrada	208 - 240 VCA, monofásico, 50/60 Hz La versión de 110V está disponible con un transformador de 1500W.
Energía	< 2000W (incluyendo bomba)
Potencia de salida	Sputtering de plasma: 1600 V CC y 50 mA máx. Evaporación: 10 V CA y máx. Corriente 20A (para cestas de alambre de tungsteno).
cámara de trabajo	Tubo de vidrio fundido, 160 mm de diámetro. x 110 mm de altura
Cabezal de recubrimiento	Se incluyen dos cabezales de recubrimiento: Cabezal de pulverización de CC (objetivo de 2") (Imagen 1) Evaporación térmica a través de cestas de alambre de tungsteno (Fig. 2)
Etapa de muestra	Uno de 50 mm de diámetro. etapa de muestra, máx. área de recubrimiento: 45 mm de diámetro Se incluye accesorio de evaporación para recubrir materiales metálicos livianos, como Al, Li, Mg
accesorios incluidos	Bomba de vacío de paletas rotativas de doble paso (externo) con calibre Pirani y La trampa de vapor elimina la neblina de aceite incluida, que puede alcanzar un vacío de hasta 10-2 torr Se incluye una válvula solenoide para purga de aire automática. Para una mejor evaporación del carbono, sugiera usar una bomba molecular como la imagen de abajo a la derecha a un costo adicional, que puede alcanzar un vacío de hasta 10-5 torr
atmósfera gaseosa	Una válvula de aguja instalada para permitir que la entrada de gas Ar logre un mejor recubrimiento de plasma
Objetivo y amp; Fuente de evaporación	Una Au objetivo: 50 mm de diámetro. x 0,12 mm, 1 pieza está incluido. Se incluye una fibra de carbono (hilo) de 3 pies para la evaporación de carbono (no se puede usar una varilla de carbono para el recubrimiento de carbono)
Dimensión global	360 mm de largo x 300 mm de ancho x 380 mm de alto
Peso neto	50 kg
Cumplimiento	Aprobación CE La certificación NRTL o CSA está disponible a pedido con un costo adicional, comuníquese con nuestro representante de ventas para obtener una cotización.
Garantía	Un año limitado con soporte de por vida
Conocimiento de recubrimiento por pulverización catódica	TMAX Corp. comparte la tecnología de recubrimiento por pulverización más avanzada con nuestro cliente El sistema requiere un tanque de gas Ar con regulador de presión que no está incluido