Recubrimiento de recubrimiento por pulverización catódica de iones de magnetrón de alto vacío de CC o RF
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Recubrimiento de recubrimiento por pulverización catódica de iones de magnetrón de alto vacío de CC o RF
Introducción
Alto Recubridor de pulverización catódica de iones de magnetrón al vacío es ideal y está diseñado para la ciencia de los materiales y la preparación de muestras. Es ampliamente utilizado para la mayoría de las universidades e institutos de investigación científica de ciencia e ingeniería de materiales para recubrir metales, cerámicas, semiconductores, aisladores u otros tipos de preparación de materiales de membrana.
El recubridor de pulverización catódica de iones de magnetrón de alto vacío proporciona el entorno de pulverización catódica más estable y logra las condiciones experimentales básicas de la pulverización catódica de magnetrón en un período de tiempo muy corto. Proporciona dos tipos de opciones de potencia de pulverización de CC/RF que permiten la pulverización de sustancias conductoras o no conductoras en la muestra y mejora el rendimiento de la deposición física de vapor (PVD). También es excelente para el tratamiento y recubrimiento de superficies. Es fácil de operar y fácil de usar también.
La bomba de vacío y el enfriador están incluidos.
Parámetro
Aspiradora pag árbitro s et |
( O es necesario) r notario v acuum pag ump+( o es gratis) t urbo metro oleculano pag juego de ump |
Giratorio pag umpear s orinar |
50Hz : 16 m³ / h (4,4 L/s)/ 60 Hz : 19,2 m³ /h (5,2 L/s) |
Molecular pag umpear s orinar |
300L/ s |
Aspiradora yo imitar |
5* 10 -5 Pensilvania |
Laboral pag presión |
0,5-5 Pa |
Pasar la aspiradora t i a mí |
> 10 minutos (10 -3 Pensilvania) |
Aspiradora metro facilidad |
Rango de medición desde la atmósfera hasta 1*10 -6 Pensilvania |
Gas C controlar |
Gas F bajo C controlador |
Cámara s tamaño |
φ260*200mm (altura) metro etal |
magnetrón t objetivo s fuente |
Tamaño objetivo φ 50*3mm(Cu)/ t fuente de destino: w pico metro agnético s sustancia / metro materiales |
Operación metro étodo |
Manual de instrucciones yo |
Peso/ s tamaño |
100 kg/610 mm de largo x 420 mm de ancho x 490 mm de alto |
Poder s suministro |
CA 110 V 60 Hz o CA 220 V 50 Hz |
Poder C consumo |
<3000W |
Enfriamiento metro étodo |
Aire C inundando( pag ump)+ w agua C inundando( s jugando t objetivo) |
Garantía |
Garantía limitada de un año con soporte de producto de por vida |












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