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PECVD Furnace

Horno vertical de 1200 ° C con generador de RF, mezcla de gases y sistema de bombeo

  • Model Number:

    TMAX-VerticalPECVD
  • Pago:

    L/C D/A D/P T/T Western Union
  • Delivery Time:

    15 day
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Detalles del producto

Horno pecvd vertical de 1200 ° c con generador de rf, mezcla de gas y amperios; sistema de bombeo

tmax-1200-pecvd serie química deposición de vapor (cvd) y deposición química de vapor mejorada con plasma (pecvd) los hornos de tubo dividido multizona cuentan con el famoso kanthal ® (suecia) alambre elementos calefactores integrados en alta calidad Mitsubishi ® (japón) alúmina Aislamiento de fibra. Toda la carcasa de acero de doble capa garantiza durabilidad y ayuda minimizar la pérdida de calor a la superficie exterior.


la operación del horno es controlado por shimaden ® (Japón) Controlador digital de 40 segmentos con puerto de comunicaciones digitales rs485 incorporado y adaptador USB, lo que permite al usuario conectarse a una PC para control remoto y Monitoreo del horno. También puede guardar o exportar los resultados de la prueba.
todos nuestros hornos son ce obediente.

caracteristicas

· compacto, portátil y Diseño ligero.

· menor procesamiento temperaturas requeridas en comparación con los cvds convencionales.

· el estrés de la película puede ser controlado por técnicas de mezcla de alta / baja frecuencia.

· cámara de horno dividida para Acceso rápido y fácil al tubo.

· paquete estándar incluye Conjunto de bridas de sellado al vacío de acero inoxidable con válvulas y medidor de presión.

· basado en microprocesador El control pid de autoajuste proporciona un proceso térmico óptimo con un mínimo excederse.

· ambiente múltiple los procesos en un solo ciclo son posibles (ej: aglutinante de aglomerante en el aire y partes sinterización bajo vacío o ambiente de gas inerte.)

· amperímetro incorporado y voltímetros duales para un fácil monitoreo y resolución de problemas.

· computadora incorporada interfaz.

· larga vida tipo k par termoeléctrico.

· opción de horno deslizable le brinda velocidades de enfriamiento ultra rápidas

la seguridad

· la protección contra sobrecalentamiento se cierra hacia abajo del horno si la temperatura está fuera del rango aceptable (consulte manual del controlador) o cuando el termopar está roto o funciona mal.

· protección de falla de energía reanuda la operación del horno justo después del punto de falla cuando la energía es restablecido.

¡advertencia! nunca llene el horno con explosivos gases, incluidos hidrógeno, monóxido de carbono y metano.


horno, bomba de vacío y especificaciones del sistema de mezcla de gases

material del tubo

cuarzo

elemento de calefacción

kanthal ® (suecia)   alambre de resistencia de la bobina

max. vs constante   temperaturas de trabajo

1200 ° c máx. y   Constante de 1100 ° c

pareja termo   tipo

k

linea de refraccion

Mitsubishi ® (Japón)   Alúmina de fibra de grado 1500

temperatura   controlador

shimaden ® (Japón)   fp93 con 4 programas y 40 segmentos
(es decir, 4 x 10 segmentos o 2 x 20 segmentos)

calentamiento máximo   &amperio; velocidad de enfriamiento

& lt; 30 ° c / min

temperatura   precisión del controlador

+/- 1 ° c (+/-   1.8 ° f)

sellado al vacío   kit de brida

acero inoxidable   bridas de sellado al vacío con un medidor de vacío,
Dos válvulas y cuatro bloques de cerámica térmica.

eléctrico   requisitos

220vac, 3.5kw,   fase única

especificaciones del generador de rf

eléctrico   requisitos

208-240 voltios   50/60 hz

potencia de salida

5 a 500 vatios,   ajustable en +/- 1% escalón

frecuencia rf

13.56 mhz con   +/- 0.005% de estabilidad

poder de reflexión

10 vatios máx.

pareo

automático

puerto de salida rf

50 Ω, tipo n,   hembra

enfriamiento

aire

Parte Descripción

cantidad

imagen parcial

horno de tubo dividido

1 juego

gas multicanal   sistema de suministros

1 juego

potencia de plasma rf   suministro (opcional)

1 juego

bomba de vacío y   recinto (opcional)

1 juego

tubo de cuarzo

1 PC

tubo de teflón (n   soporte para número de tubos)

n * 5

acero inoxidable   bridas de sellado al vacío con medidor de presión

1 juego

acero inoxidable   gancho

1 PC

cerámica de alúmina   bloque térmico

2 pares

guantes térmicos

1 par

alta temperatura   Alabama 2 o 3 alúmina   crisol

5 piezas

fusible de repuesto

2 piezas

computadora usb / rs485   kit de interfaz

1 juego

horno y   manual del controlador shimaden

2 piezas

PECVD Furnace


1) suministramos maquinas con soporte de tecnología de batería.

2) nosotros proveemos conjunto completo de equipo de batería de litio para investigación de laboratorio, investigación a escala piloto y producción lin mi.


laboratory muffle furnace


1 paquete estándar exportado: protección anticolisión interna, embalaje de caja de madera de exportación externa.

2 envío por expreso, por aire, por mar de acuerdo con los requisitos de los clientes para encontrar la forma más adecuada.

3 responsables del daño durante el proceso de envío, cambiará la parte del daño por usted de forma gratuita.