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Sliding PECVD System

Sistema de pecvd deslizante de zonas dobles de 1200 ℃

  • Model Number:

    TMAX-1200-1200
  • Pago:

    L/C D/A D/P T/T Western Union
  • Delivery Time:

    15 day
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Detalles del producto

Sistema de pecvd deslizante de zonas dobles de 1200 ℃


tmax-1200-1200 el sistema pecvd de área de dos temperaturas de tipo deslizante está compuesto tmax-1200-1200 horno de tubo de vacío de dos temperaturas de tipo deslizante, cámara de vacío de cuarzo, radio fuente de alimentación de frecuencia, sistema de suministro de gas gx, sistema de bombeo y vacío sistema de medición.

principales características:

1. el gas en La cámara de vacío de cuarzo se cambia a estado iónico por la fuente de alimentación RF.

2. pecvd es CDV inferior a lo normal para la deposición química de vapor

3. el estrés de Las películas depositadas se pueden controlar por la frecuencia de la fuente de alimentación RF

4. pecvd tiene alta tasa de deposición, buena uniformidad, consistencia y estabilidad de lo normal cvd.

5. ampliamente utilizado en el crecimiento de varias películas, como siox, sinx, sioxny y amorphous silicio (a-si: h), etc.

esta diapositiva La técnica del sistema pecvd de doble temperatura tipo tl1200-1200 es un calentamiento rápido, técnica de sistema de temperatura de enfriamiento pecvd, está en el rango de temperatura de sistema de doble pecvd instalado en un par de rieles deslizantes, técnica disponible Sistema deslizante manual.

calefacción y velocidad de enfriamiento de hasta 100 ° c / min.

para obtener el calentamiento más rápido, caliente la estufa a la temperatura establecida de antemano, luego mueva el horno a la posición de muestra.

para obtener el enfriamiento más rápido, mueva la estufa al otro extremo después de calentar la muestra.

calefacción y La velocidad de enfriamiento al vacío o el ambiente de gas inerte puede alcanzar 10 ° c / s, es un bajo Costo de calentamiento rápido y rango de temperatura de enfriamiento del sistema de doble pecvd técnica.

1. kanthal a1 cable de resistencia de suecia

kanthal a1 resistencia original de alambre chino horno de alambre vs   horno de alambre de resistencia importado

(1), la temperatura superficial alta puede alcanzar 1420

(2) la superficie es de acero inoxidable (muy brillante, el cliente debe prestarle atención), no se oxidará y el tiempo de uso no disminuirá fuera de la escoria.

(3) se descargan los datos del cable de resistencia kanthal

(4) sitio web del cable de resistencia kanthal: www.kanthal.com

(5) la resistencia está equilibrada y el campo de temperatura es igualmente bueno

la mayoría de los fabricantes usan aleación fe-cr-al dopada por mo cable de resistencia, que

a veces la resistencia es desigual y parte del calor es pequeño                                           kanthal La resistencia a1 es uniforme y equilibrada con el calor, buen campo de temperatura                                                                                                                                                                       efecto

2. instalación de aire interruptor y protector de fugas:

cuando una corriente eléctrica o una fuga, una reunión vacía se desconecta automáticamente.

3) se puede conectar con la computadora

este horno está equipado con interfaz de comunicación y software, puede ser directamente a través del control de la computadora del horno de cada parámetro, y se puede observar desde la computadora pv en la estufa y sv valor de temperatura y operación del instrumento, la temperatura real de la curva del horno que dibuja la computadora en tiempo real, y puede mantener los datos de temperatura de cada vez, puede llamar en cualquier momento

4) cámara

(1 ) alta calidad de alúmina pura pura policristalina horno de fibra curada con succión al vacío y moldeo por filtro.

(2) adoptar tecnología japonesa para formar.

(3) La separación y el paso del cable de resistencia en el horno están organizados de acuerdo con la mejor tecnología térmica de Japón, y el el campo de temperatura es simulado por software térmico

(4) usando 4 semanas calentamiento, la temperatura es más equilibrada

5. opcional ul tablero eléctrico certificado (todo a través de la certificación ul de importados electrodomésticos)

6. disparador

arranque suave disparador limitador de corriente                           la mayoría de los fabricantes usan disparadores xiamen bode no limitantes

Disparador de cambio de 1 fase (con arranque suave y limitación de corriente función)

2. función de limitación de corriente, no importa cómo ajustar la calefacción tiempo que el horno eléctrico después de la corriente secundaria del transformador se limita a Protección 170a o menos limitada del equipo. disparador no limitante si la velocidad de calentamiento está configurada incorrectamente o demasiado rápido. baja corriente actual es muy grande el dispositivo se disparará o se quemará.

3 función de arranque suave, la corriente aumentará lentamente actual el impacto del elemento calefactor es pequeño es propicio para el extensión de la vida del elemento calefactor

4 la función de protección si la corriente excede el límite actual el gatillo cortará automáticamente la función del gatillo para cortar El horno de protección actual.

7. ul transformador certificado

1 el cable del transformador es puro cobre

2 el transformador suena pequeño

3 la temperatura del transformador es bajo

8. una variedad de opciones para elegir una variedad de bridas (diámetro de 25 a 250 mm)

modelo

tmax-1200-1200 - i

tmax-1200-1200-ii

tmax-1200-1200-iii

tmax-1200-1200-iv

poder

3 kw

3 kw

4 kw

4 kw

tubo   Talla

120   (od) x1800mm de diámetro

60 60   (od) x1800mm de diámetro

80   (od) x1800mm de diámetro

100   (od) x1800mm de diámetro

en general   dimensiones (lxdxh)

1800   x480x680

1800   x410x610

1800   x410x610

1800   x460x660

el   tensión de alimentación

220 v

diapositiva   material ferroviario

304   acero inoxidable

corredizo   modo

inoxidable   rodamiento de acero

número   de fase

soltero   fase

calefacción   elemento

importar   cable de resistencia a1 canthal sueco haga clic en la descarga de datos

el   modo de control

utilizando el termómetro de control de programa eléctrico yu (estándar)
1. 30 programa de control de temperatura inteligente pid ajuste.
2. el circuito de calefacción del horno eléctrico se puede cortar automáticamente   cuando ha sido protegido por calor o roto accidentalmente. (cuando el horno   la temperatura excede los 1200 grados o el termopar está roto, el relé de CA   en el circuito principal se desconectará automáticamente, el circuito principal es   roto, la luz en el panel está apagada, apagada, la protección limitada   horno eléctrico.
3. con interfaz de comunicación 485 (estándar y estándar para elegir   software)
4. tiene la función de protección de falla de energía, es decir, cuando la energía   está apagado, el programa no se iniciará desde la temperatura inicial, pero el   el horno comenzará a elevarse cuando se desconecte la energía.
el instrumento tiene la función de autoajuste de temperatura

(para reemplazar el instrumento importado, tenemos que pagar   otra tarifa)

fp93   mesa de control de temperatura (shimaden) europeo   instrumentos

instrumento con pantalla táctil

el   modo de control de temperatura

pid

roto   incluso protección y pantalla

si

terminado   protección de temperatura

si

terminado   protección actual

si

controlar   precisión

+ / -   1

el   desencadenar

fase   cambio de gatillo

eléctrico   accesorios

Zhejiang   chint

silicio   rectificador controlado

106 / 16e   puerta oeste, alemania

el   temperatura más alta

temperatura   zona1: 1200 zona de temperatura 2: 1200

el   temperatura nominal

temperatura   zona1: 1100 zona de temperatura 2: 1100

calefacción   Velocidad

el   20 / min o menos (puede modificar según el requisito)

recomendado   velocidad de calentamiento

10 / min o menos

modelo   de termopar

zonas   1: rango de temperatura de tipo k 2: tipo k

calefacción   longitud

zonas   1: rango de temperatura de 200 mm. 2: 200 mm

eléctrico   Certificación

ce

rodeando   temperatura de la superficie

45 o menos

rf   fuente de alimentación

(generador de plasma)

poder   rango de salida

0-500   w

máximo   poder reflejado

200   w.

trabajando   frecuencia

rf:   13.56 mhz más o menos 0.005%

poder   estabilidad

+ / -   0.1%

armónico   componente

- 50   o menos dbc

rf   anchura

0-600   - mm es ajustable

pareo   modo

automático

enfriamiento   modo

aire   frío

ruido

el   & lt; 50 db

el   interfaz de radiofrecuencia

50 Ω   n - tipo

entrada   poder

208-240   - v 50/60 hz

principal   parámetros del sistema de suministro de gas gx

masa   medidor de corriente
el rango estándar
utilizando el controlador de flujo de protones 5, 10, 20, 30, 50, 100, 200, 300, 500 sccm,   1, 2, 3, 5, 10 slm
(puede elegir el rango del rango y el tipo de gas)
presión máxima de trabajo 3 mp
la precisión de más o menos 1.5%
la caída de presión & lt; 0,01 mpa & lt; p = "" & gt;
precisión de repetición más o menos 0.2% f.s

canales:

1, 2   3, 4, 5, 6, 7, 8 (opcional)

articulación   tipo

doble   conector de cassette de acero inoxidable

sistema   rango de presión de trabajo

0.1 ~   0.5 mpa

trabajando   temperatura

5-45

presión   reloj de vacío

0.1 ~   0.15 mpa a 0.01 mpa / caja

estático   cámara de mezclado

dia50   x 400 mm

interfaz

dia6   1/4 "

el   fuente de alimentación

220 v

Talla

600   x600x600

acanalado   tubo

kf25x1000mm

el   Se puede alcanzar el grado de vacío con este sistema

10-1   el PA

vacío   válvula deflectora

kf25

vrd   a 8 bomba de vacío

modelo

vrd   a 8

limitante   presión parcial

5 5   x10-2 pa

entrada   interfaz de escape

kf25

motor   velocidad

1440   rpm

extracción   Velocidad

2.2 2.2   l / s

motor   poder

0.4 0.4   kw

perfeccionista   bomba de raíces acp1 sin aceite de múltiples etapas (plan 2)

modelo

acp15

poder   suministro

ac100   ~ 240v 50 / 60hz

poder

450 w

cansada   interfaz

kf25

peso

25 kg

el   la tasa máxima de fuga de helio es

5 ·   10-8 pa m3 / s

extremo   grado de vacío

0,02   torr

el   tasa de extracción es

14 m3   / h

modelo

zdr -   1

poder

25 w.

vacío   rango de medida de grado

0.1-10   5 pa

resistencia   silicio

qué   zj tuvo que 52 t

Suecia   (inficon) medidor de vacío de capacitancia pirani (opcional)

modelo

pcg554

entrada   voltaje

24v   1a dc (equipado con transformador de 220v)

vacío   interfaz de calibre

kf16

digital   monitor

digital   pantalla (tamaño de pantalla 20x14 mm), cuya unidad de visualización de datos es torr

producto   Talla

46mm   x 28 mm x 126 mm (lxwxh)

el   peso de la

5 libras

detección   de gas

varios   Se pueden detectar gases incluyendo gases mezclados, precisos y repetibles.

si   la anticorrosión

corrosión   proteccion

el   tiempo de respuesta

30 ms   o menos

medición   rango

3.8   x10-5-1125 torr.

molecular   unidad de bomba (opcional)

unidad   voltaje de entrada

380 v   / 220 v

acanalado   tubo

kf40x1000

vacío   válvula deflectora

kf40

caso   Talla

600   x600x600

molecular   modelo de bomba

fj620

entrada   voltaje

380 v

molecular   brida de entrada de la bomba

dn160

molecular   velocidad de bombeo de la bomba l / s (para aire)

600

molecular   presión límite de la bomba (pa)

6 x   10-7

enfriamiento   sistema

agua   enfriado

enfriamiento   presión de agua (mpa)

0.1   a 0.2

enfriamiento   temperatura de agua

& lt;   25 & lt; p = "" & gt;

el   Temperatura ambiental

0 ~   40

sugirió   presión inicial

& lt;   100 pa & lt; p = "" & gt;

motor   bomba de vacío rvp - 6

poder

0,75   kw

voltaje

380 v

velocidad

1450   rpm

entrada   diámetro

kf25   / kf40

bomba   velocidad de bombeo (l / s)

6 6

último   presión

4 4   x10-2 pa

alemán   bomba de vacío pfeiffer

voltaje

220 v

poder

110   w.

extracción   interfaz

kf40

el   peso de la

150   kg

bomba   velocidad de la bomba delantera

0.9 m   3 / h

extracción   tasa (n2)

33   Sra

compuesto   indicador de vacio

compuesto   modelo de medidor de vacío

zdf

el   fuente de alimentación

220 v   55 w

controlar   precisión

más   o menos 1%

vacío   rango de medición del medidor

10-5-10   5 pa

partes

número

tl1200-1200   horno de tubo

1 juego

cuarzo   tubo

1

ss   brida

1 juego

inoxidable   gancho de acero

1

alúmina   tapón de horno

3

alto   guantes de temperatura

1   par

alúmina   crisol

1

par termoeléctrico

1

485   transformar interfaces y software Opcional

1 juego

instrucción   libro

1

brida   apoyo

1

gas   sistema de suministros

1

vs-0.1air   sistema de extracción

1

rf   poder

1

contera

4 4

bramido

1

vacío   válvula deflectora

1

cyl   conector n representa el número de canales

norte

válvula   conector

2

ptfe   tubería (n significa número de canales)

n * 5

PECVD Furnace


1) suministramos maquinas con soporte de tecnología de batería.

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1 paquete estándar exportado: protección anticolisión interna, embalaje de caja de madera de exportación externa.

2 envío por expreso, por aire, por mar de acuerdo con los requisitos de los clientes para encontrar la forma más adecuada.

3 responsables del daño durante el proceso de envío, cambiará la parte del daño por usted de forma gratuita.