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Sistema de pecvd deslizante de zonas dobles de 1200 ℃
Model Number:
TMAX-1200-1200Pago:
L/C D/A D/P T/T Western UnionDelivery Time:
15 day
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generador rf para horno de tubo de 50, 80 o 125 mm odSiguiente:
Horno vertical de 1200 ° C con generador de RF, mezcla de gases y sistema de bombeo
Sistema de pecvd deslizante de zonas dobles de 1200 ℃
principales características:
1. el gas en La cámara de vacío de cuarzo se cambia a estado iónico por la fuente de alimentación RF.
2. pecvd es CDV inferior a lo normal para la deposición química de vapor
3. el estrés de Las películas depositadas se pueden controlar por la frecuencia de la fuente de alimentación RF
4. pecvd tiene alta tasa de deposición, buena uniformidad, consistencia y estabilidad de lo normal cvd.
5. ampliamente utilizado en el crecimiento de varias películas, como siox, sinx, sioxny y amorphous silicio (a-si: h), etc.
esta diapositiva La técnica del sistema pecvd de doble temperatura tipo tl1200-1200 es un calentamiento rápido, técnica de sistema de temperatura de enfriamiento pecvd, está en el rango de temperatura de sistema de doble pecvd instalado en un par de rieles deslizantes, técnica disponible Sistema deslizante manual.
calefacción y velocidad de enfriamiento de hasta 100 ° c / min.
para obtener el calentamiento más rápido, caliente la estufa a la temperatura establecida de antemano, luego mueva el horno a la posición de muestra.
para obtener el enfriamiento más rápido, mueva la estufa al otro extremo después de calentar la muestra.
calefacción y La velocidad de enfriamiento al vacío o el ambiente de gas inerte puede alcanzar 10 ° c / s, es un bajo Costo de calentamiento rápido y rango de temperatura de enfriamiento del sistema de doble pecvd técnica.
1. kanthal a1 cable de resistencia de suecia
kanthal a1 resistencia original de alambre chino horno de alambre vs horno de alambre de resistencia importado
(1), la temperatura superficial alta puede alcanzar 1420 ℃
(2) la superficie es de acero inoxidable (muy brillante, el cliente debe prestarle atención), no se oxidará y el tiempo de uso no disminuirá fuera de la escoria.
(3) se descargan los datos del cable de resistencia kanthal
(4) sitio web del cable de resistencia kanthal: www.kanthal.com
(5) la resistencia está equilibrada y el campo de temperatura es igualmente bueno
la mayoría de los fabricantes usan aleación fe-cr-al dopada por mo cable de resistencia, que
a veces la resistencia es desigual y parte del calor es pequeño kanthal La resistencia a1 es uniforme y equilibrada con el calor, buen campo de temperatura efecto
2. instalación de aire interruptor y protector de fugas:
cuando una corriente eléctrica o una fuga, una reunión vacía se desconecta automáticamente.
3) se puede conectar con la computadora
este horno está equipado con interfaz de comunicación y software, puede ser directamente a través del control de la computadora del horno de cada parámetro, y se puede observar desde la computadora pv en la estufa y sv valor de temperatura y operación del instrumento, la temperatura real de la curva del horno que dibuja la computadora en tiempo real, y puede mantener los datos de temperatura de cada vez, puede llamar en cualquier momento
4) cámara
(1 ) alta calidad de alúmina pura pura policristalina horno de fibra curada con succión al vacío y moldeo por filtro.
(2) adoptar tecnología japonesa para formar.
(3) La separación y el paso del cable de resistencia en el horno están organizados de acuerdo con la mejor tecnología térmica de Japón, y el el campo de temperatura es simulado por software térmico
(4) usando 4 semanas calentamiento, la temperatura es más equilibrada
5. opcional ul tablero eléctrico certificado (todo a través de la certificación ul de importados electrodomésticos)
6. disparador
arranque suave disparador limitador de corriente la mayoría de los fabricantes usan disparadores xiamen bode no limitantes
Disparador de cambio de 1 fase (con arranque suave y limitación de corriente función)
2. función de limitación de corriente, no importa cómo ajustar la calefacción tiempo que el horno eléctrico después de la corriente secundaria del transformador se limita a Protección 170a o menos limitada del equipo. disparador no limitante si la velocidad de calentamiento está configurada incorrectamente o demasiado rápido. baja corriente actual es muy grande el dispositivo se disparará o se quemará.
3 función de arranque suave, la corriente aumentará lentamente actual el impacto del elemento calefactor es pequeño es propicio para el extensión de la vida del elemento calefactor
4 la función de protección si la corriente excede el límite actual el gatillo cortará automáticamente la función del gatillo para cortar El horno de protección actual.
7. ul transformador certificado
1 el cable del transformador es puro cobre
2 el transformador suena pequeño
3 la temperatura del transformador es bajo
8. una variedad de opciones para elegir una variedad de bridas (diámetro de 25 a 250 mm)
modelo |
tmax-1200-1200 - i |
tmax-1200-1200-ii |
tmax-1200-1200-iii |
tmax-1200-1200-iv |
|
poder |
3 kw |
3 kw |
4 kw |
4 kw |
|
tubo Talla |
120 (od) x1800mm de diámetro |
60 60 (od) x1800mm de diámetro |
80 (od) x1800mm de diámetro |
100 (od) x1800mm de diámetro |
|
en general dimensiones (lxdxh) |
1800 x480x680 |
1800 x410x610 |
1800 x410x610 |
1800 x460x660 |
|
el tensión de alimentación |
220 v |
||||
diapositiva material ferroviario |
304 acero inoxidable |
||||
corredizo modo |
inoxidable rodamiento de acero |
||||
número de fase |
soltero fase |
||||
calefacción elemento |
importar cable de resistencia a1 canthal sueco haga clic en la descarga de datos |
||||
el modo de control |
utilizando el termómetro de control de programa eléctrico yu (estándar) (para reemplazar el instrumento importado, tenemos que pagar otra tarifa) fp93 mesa de control de temperatura (shimaden) europeo instrumentos instrumento con pantalla táctil |
||||
el modo de control de temperatura |
pid |
||||
roto incluso protección y pantalla |
si |
||||
terminado protección de temperatura |
si |
||||
terminado protección actual |
si |
||||
controlar precisión |
+ / - 1 ℃ |
||||
el desencadenar |
fase cambio de gatillo |
||||
eléctrico accesorios |
Zhejiang chint |
||||
silicio rectificador controlado |
106 / 16e puerta oeste, alemania |
||||
el temperatura más alta |
temperatura zona1: 1200 ℃ zona de temperatura 2: 1200 ℃ |
||||
el temperatura nominal |
temperatura zona1: 1100 ℃ zona de temperatura 2: 1100 ℃ |
||||
calefacción Velocidad |
el 20 ℃ / min o menos (puede modificar según el requisito) |
||||
recomendado velocidad de calentamiento |
10 ℃ / min o menos |
||||
modelo de termopar |
zonas 1: rango de temperatura de tipo k 2: tipo k |
||||
calefacción longitud |
zonas 1: rango de temperatura de 200 mm. 2: 200 mm |
||||
eléctrico Certificación |
ce |
||||
rodeando temperatura de la superficie |
45 ℃ o menos |
||||
rf fuente de alimentación |
(generador de plasma) |
||||
poder rango de salida |
0-500 w |
||||
máximo poder reflejado |
200 w. |
||||
trabajando frecuencia |
rf: 13.56 mhz más o menos 0.005% |
||||
poder estabilidad |
+ / - 0.1% |
||||
armónico componente |
- 50 o menos dbc |
||||
rf anchura |
0-600 - mm es ajustable |
||||
pareo modo |
automático |
||||
enfriamiento modo |
aire frío |
||||
ruido |
el & lt; 50 db |
||||
el interfaz de radiofrecuencia |
50 Ω n - tipo |
||||
entrada poder |
208-240 - v 50/60 hz |
||||
principal parámetros del sistema de suministro de gas gx |
masa medidor de corriente |
||||
canales: |
1, 2 3, 4, 5, 6, 7, 8 (opcional) |
||||
articulación tipo |
doble conector de cassette de acero inoxidable |
||||
sistema rango de presión de trabajo |
0.1 ~ 0.5 mpa |
||||
trabajando temperatura |
5-45 ℃ |
||||
presión reloj de vacío |
0.1 ~ 0.15 mpa a 0.01 mpa / caja |
||||
estático cámara de mezclado |
dia50 x 400 mm |
||||
interfaz |
dia6 1/4 " |
||||
el fuente de alimentación |
220 v |
||||
Talla |
600 x600x600 |
||||
acanalado tubo |
kf25x1000mm |
||||
el Se puede alcanzar el grado de vacío con este sistema |
10-1 el PA |
||||
vacío válvula deflectora |
kf25 |
||||
vrd a 8 bomba de vacío |
|||||
modelo |
vrd a 8 |
||||
limitante presión parcial |
5 5 x10-2 pa |
||||
entrada interfaz de escape |
kf25 |
||||
motor velocidad |
1440 rpm |
||||
extracción Velocidad |
2.2 2.2 l / s |
||||
motor poder |
0.4 0.4 kw |
||||
perfeccionista bomba de raíces acp1 sin aceite de múltiples etapas (plan 2) |
|||||
modelo |
acp15 |
||||
poder suministro |
ac100 ~ 240v 50 / 60hz |
||||
poder |
450 w |
||||
cansada interfaz |
kf25 |
||||
peso |
25 kg |
||||
el la tasa máxima de fuga de helio es |
5 · 10-8 pa m3 / s |
||||
extremo grado de vacío |
0,02 torr |
||||
el tasa de extracción es |
14 m3 / h |
||||
modelo |
zdr - 1 |
||||
poder |
25 w. |
||||
vacío rango de medida de grado |
0.1-10 5 pa |
||||
resistencia silicio |
qué zj tuvo que 52 t |
||||
Suecia (inficon) medidor de vacío de capacitancia pirani (opcional) |
|||||
modelo |
pcg554 |
||||
entrada voltaje |
24v 1a dc (equipado con transformador de 220v) |
||||
vacío interfaz de calibre |
kf16 |
||||
digital monitor |
digital pantalla (tamaño de pantalla 20x14 mm), cuya unidad de visualización de datos es torr |
||||
producto Talla |
46mm x 28 mm x 126 mm (lxwxh) |
||||
el peso de la |
5 libras |
||||
detección de gas |
varios Se pueden detectar gases incluyendo gases mezclados, precisos y repetibles. |
||||
si la anticorrosión |
corrosión proteccion |
||||
el tiempo de respuesta |
30 ms o menos |
||||
medición rango |
3.8 x10-5-1125 torr. |
||||
molecular unidad de bomba (opcional) |
|||||
unidad voltaje de entrada |
380 v / 220 v |
||||
acanalado tubo |
kf40x1000 |
||||
vacío válvula deflectora |
kf40 |
||||
caso Talla |
600 x600x600 |
||||
molecular modelo de bomba |
fj620 |
||||
entrada voltaje |
380 v |
||||
molecular brida de entrada de la bomba |
dn160 |
||||
molecular velocidad de bombeo de la bomba l / s (para aire) |
600 |
||||
molecular presión límite de la bomba (pa) |
6 x 10-7 |
||||
enfriamiento sistema |
agua enfriado |
||||
enfriamiento presión de agua (mpa) |
0.1 a 0.2 |
||||
enfriamiento temperatura de agua |
& lt; 25 ℃ & lt; p = "" & gt; |
||||
el Temperatura ambiental |
0 ~ 40 ℃ |
||||
sugirió presión inicial |
& lt; 100 pa & lt; p = "" & gt; |
||||
motor bomba de vacío rvp - 6 |
|||||
poder |
0,75 kw |
||||
voltaje |
380 v |
||||
velocidad |
1450 rpm |
||||
entrada diámetro |
kf25 / kf40 |
||||
bomba velocidad de bombeo (l / s) |
6 6 |
||||
último presión |
4 4 x10-2 pa |
||||
alemán bomba de vacío pfeiffer |
|||||
voltaje |
220 v |
||||
poder |
110 w. |
||||
extracción interfaz |
kf40 |
||||
el peso de la |
150 kg |
||||
bomba velocidad de la bomba delantera |
0.9 m 3 / h |
||||
extracción tasa (n2) |
33 Sra |
||||
compuesto indicador de vacio |
|||||
compuesto modelo de medidor de vacío |
zdf |
||||
el fuente de alimentación |
220 v 55 w |
||||
controlar precisión |
más o menos 1% |
||||
vacío rango de medición del medidor |
10-5-10 5 pa |
partes |
número |
tl1200-1200 horno de tubo |
1 juego |
cuarzo tubo |
1 |
ss brida |
1 juego |
inoxidable gancho de acero |
1 |
alúmina tapón de horno |
3 |
alto guantes de temperatura |
1 par |
alúmina crisol |
1 |
K par termoeléctrico |
1 |
485 transformar interfaces y software ( Opcional ) |
1 juego |
instrucción libro |
1 |
brida apoyo |
1 |
gas sistema de suministros |
1 |
vs-0.1air sistema de extracción |
1 |
rf poder |
1 |
contera |
4 4 个 |
bramido |
1 |
vacío válvula deflectora |
1 |
cyl conector ( n representa el número de canales ) |
norte |
válvula conector |
2 |
ptfe tubería (n significa número de canales) |
n * 5 |
1) suministramos maquinas con soporte de tecnología de batería.
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1 paquete estándar exportado: protección anticolisión interna, embalaje de caja de madera de exportación externa.
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