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Sistema de pecvd deslizante de zonas dobles de 1200 ℃

Model Number:
TMAX-1200-1200
Pago:
L/C D/A D/P T/T Western Union
Delivery Time:
15 day

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Detalles del producto

Sistema de pecvd deslizante de zonas dobles de 1200 ℃

tmax-1200-1200 el sistema pecvd de área de dos temperaturas de tipo deslizante está compuesto tmax-1200-1200 horno de tubo de vacío de dos temperaturas de tipo deslizante, cámara de vacío de cuarzo, radio fuente de alimentación de frecuencia, sistema de suministro de gas gx, sistema de bombeo y vacío sistema de medición.

principales características:

1. el gas en La cámara de vacío de cuarzo se cambia a estado iónico por la fuente de alimentación RF.

2. pecvd es CDV inferior a lo normal para la deposición química de vapor

3. el estrés de Las películas depositadas se pueden controlar por la frecuencia de la fuente de alimentación RF

4. pecvd tiene alta tasa de deposición, buena uniformidad, consistencia y estabilidad de lo normal cvd.

5. ampliamente utilizado en el crecimiento de varias películas, como siox, sinx, sioxny y amorphous silicio (a-si: h), etc.

esta diapositiva La técnica del sistema pecvd de doble temperatura tipo tl1200-1200 es un calentamiento rápido, técnica de sistema de temperatura de enfriamiento pecvd, está en el rango de temperatura de sistema de doble pecvd instalado en un par de rieles deslizantes, técnica disponible Sistema deslizante manual.

calefacción y velocidad de enfriamiento de hasta 100 ° c / min.

para obtener el calentamiento más rápido, caliente la estufa a la temperatura establecida de antemano, luego mueva el horno a la posición de muestra.

para obtener el enfriamiento más rápido, mueva la estufa al otro extremo después de calentar la muestra.

calefacción y La velocidad de enfriamiento al vacío o el ambiente de gas inerte puede alcanzar 10 ° c / s, es un bajo Costo de calentamiento rápido y rango de temperatura de enfriamiento del sistema de doble pecvd técnica.

1. kanthal a1 cable de resistencia de suecia

kanthal a1 resistencia original de alambre chino horno de alambre vs horno de alambre de resistencia importado

(1), la temperatura superficial alta puede alcanzar 1420 ℃

(2) la superficie es de acero inoxidable (muy brillante, el cliente debe prestarle atención), no se oxidará y el tiempo de uso no disminuirá fuera de la escoria.

(3) se descargan los datos del cable de resistencia kanthal

(4) sitio web del cable de resistencia kanthal: www.kanthal.com

(5) la resistencia está equilibrada y el campo de temperatura es igualmente bueno

la mayoría de los fabricantes usan aleación fe-cr-al dopada por mo cable de resistencia, que

a veces la resistencia es desigual y parte del calor es pequeño kanthal La resistencia a1 es uniforme y equilibrada con el calor, buen campo de temperatura efecto

2. instalación de aire interruptor y protector de fugas:

cuando una corriente eléctrica o una fuga, una reunión vacía se desconecta automáticamente.

3) se puede conectar con la computadora

este horno está equipado con interfaz de comunicación y software, puede ser directamente a través del control de la computadora del horno de cada parámetro, y se puede observar desde la computadora pv en la estufa y sv valor de temperatura y operación del instrumento, la temperatura real de la curva del horno que dibuja la computadora en tiempo real, y puede mantener los datos de temperatura de cada vez, puede llamar en cualquier momento

4) cámara

(1 ) alta calidad de alúmina pura pura policristalina horno de fibra curada con succión al vacío y moldeo por filtro.

(2) adoptar tecnología japonesa para formar.

(3) La separación y el paso del cable de resistencia en el horno están organizados de acuerdo con la mejor tecnología térmica de Japón, y el el campo de temperatura es simulado por software térmico

(4) usando 4 semanas calentamiento, la temperatura es más equilibrada

5. opcional ul tablero eléctrico certificado (todo a través de la certificación ul de importados electrodomésticos)

6. disparador

arranque suave disparador limitador de corriente la mayoría de los fabricantes usan disparadores xiamen bode no limitantes

Disparador de cambio de 1 fase (con arranque suave y limitación de corriente función)

2. función de limitación de corriente, no importa cómo ajustar la calefacción tiempo que el horno eléctrico después de la corriente secundaria del transformador se limita a Protección 170a o menos limitada del equipo. disparador no limitante si la velocidad de calentamiento está configurada incorrectamente o demasiado rápido. baja corriente actual es muy grande el dispositivo se disparará o se quemará.

3 función de arranque suave, la corriente aumentará lentamente actual el impacto del elemento calefactor es pequeño es propicio para el extensión de la vida del elemento calefactor

4 la función de protección si la corriente excede el límite actual el gatillo cortará automáticamente la función del gatillo para cortar El horno de protección actual.

7. ul transformador certificado

1 el cable del transformador es puro cobre

2 el transformador suena pequeño

3 la temperatura del transformador es bajo

8. una variedad de opciones para elegir una variedad de bridas (diámetro de 25 a 250 mm)

modelo	tmax-1200-1200 - i	tmax-1200-1200-ii	tmax-1200-1200-iii	tmax-1200-1200-iv
poder	3 kw	3 kw	4 kw	4 kw
tubo Talla	120 (od) x1800mm de diámetro	60 60 (od) x1800mm de diámetro	80 (od) x1800mm de diámetro	100 (od) x1800mm de diámetro
en general dimensiones (lxdxh)	1800 x480x680	1800 x410x610	1800 x410x610	1800 x460x660
el tensión de alimentación	220 v
diapositiva material ferroviario	304 acero inoxidable
corredizo modo	inoxidable rodamiento de acero
número de fase	soltero fase
calefacción elemento	importar cable de resistencia a1 canthal sueco haga clic en la descarga de datos
el modo de control	utilizando el termómetro de control de programa eléctrico yu (estándar) 1. 30 programa de control de temperatura inteligente pid ajuste. 2. el circuito de calefacción del horno eléctrico se puede cortar automáticamente cuando ha sido protegido por calor o roto accidentalmente. (cuando el horno la temperatura excede los 1200 grados o el termopar está roto, el relé de CA en el circuito principal se desconectará automáticamente, el circuito principal es roto, la luz en el panel está apagada, apagada, la protección limitada horno eléctrico. 3. con interfaz de comunicación 485 (estándar y estándar para elegir software) 4. tiene la función de protección de falla de energía, es decir, cuando la energía está apagado, el programa no se iniciará desde la temperatura inicial, pero el el horno comenzará a elevarse cuando se desconecte la energía. el instrumento tiene la función de autoajuste de temperatura (para reemplazar el instrumento importado, tenemos que pagar otra tarifa) fp93 mesa de control de temperatura (shimaden) europeo instrumentos instrumento con pantalla táctil
el modo de control de temperatura	pid
roto incluso protección y pantalla	si
terminado protección de temperatura	si
terminado protección actual	si
controlar precisión	+ / - 1 ℃
el desencadenar	fase cambio de gatillo
eléctrico accesorios	Zhejiang chint
silicio rectificador controlado	106 / 16e puerta oeste, alemania
el temperatura más alta	temperatura zona1: 1200 ℃ zona de temperatura 2: 1200 ℃
el temperatura nominal	temperatura zona1: 1100 ℃ zona de temperatura 2: 1100 ℃
calefacción Velocidad	el 20 ℃ / min o menos (puede modificar según el requisito)
recomendado velocidad de calentamiento	10 ℃ / min o menos
modelo de termopar	zonas 1: rango de temperatura de tipo k 2: tipo k
calefacción longitud	zonas 1: rango de temperatura de 200 mm. 2: 200 mm
eléctrico Certificación	ce
rodeando temperatura de la superficie	45 ℃ o menos
rf fuente de alimentación	(generador de plasma)
poder rango de salida	0-500 w
máximo poder reflejado	200 w.
trabajando frecuencia	rf: 13.56 mhz más o menos 0.005%
poder estabilidad	+ / - 0.1%
armónico componente	- 50 o menos dbc
rf anchura	0-600 - mm es ajustable
pareo modo	automático
enfriamiento modo	aire frío
ruido	el & lt; 50 db
el interfaz de radiofrecuencia	50 Ω n - tipo
entrada poder	208-240 - v 50/60 hz
principal parámetros del sistema de suministro de gas gx	masa medidor de corriente el rango estándar utilizando el controlador de flujo de protones 5, 10, 20, 30, 50, 100, 200, 300, 500 sccm, 1, 2, 3, 5, 10 slm (puede elegir el rango del rango y el tipo de gas) presión máxima de trabajo 3 mp la precisión de más o menos 1.5% la caída de presión & lt; 0,01 mpa & lt; p = "" & gt; precisión de repetición más o menos 0.2% f.s
canales:	1, 2 3, 4, 5, 6, 7, 8 (opcional)
articulación tipo	doble conector de cassette de acero inoxidable
sistema rango de presión de trabajo	0.1 ~ 0.5 mpa
trabajando temperatura	5-45 ℃
presión reloj de vacío	0.1 ~ 0.15 mpa a 0.01 mpa / caja
estático cámara de mezclado	dia50 x 400 mm
interfaz	dia6 1/4 "
el fuente de alimentación	220 v
Talla	600 x600x600
acanalado tubo	kf25x1000mm
el Se puede alcanzar el grado de vacío con este sistema	10-1 el PA
vacío válvula deflectora	kf25
vrd a 8 bomba de vacío
modelo	vrd a 8
limitante presión parcial	5 5 x10-2 pa
entrada interfaz de escape	kf25
motor velocidad	1440 rpm
extracción Velocidad	2.2 2.2 l / s
motor poder	0.4 0.4 kw
perfeccionista bomba de raíces acp1 sin aceite de múltiples etapas (plan 2)
modelo	acp15
poder suministro	ac100 ~ 240v 50 / 60hz
poder	450 w
cansada interfaz	kf25
peso	25 kg
el la tasa máxima de fuga de helio es	5 · 10-8 pa m3 / s
extremo grado de vacío	0,02 torr
el tasa de extracción es	14 m3 / h
modelo	zdr - 1
poder	25 w.
vacío rango de medida de grado	0.1-10 5 pa
resistencia silicio	qué zj tuvo que 52 t
Suecia (inficon) medidor de vacío de capacitancia pirani (opcional)
modelo	pcg554
entrada voltaje	24v 1a dc (equipado con transformador de 220v)
vacío interfaz de calibre	kf16
digital monitor	digital pantalla (tamaño de pantalla 20x14 mm), cuya unidad de visualización de datos es torr
producto Talla	46mm x 28 mm x 126 mm (lxwxh)
el peso de la	5 libras
detección de gas	varios Se pueden detectar gases incluyendo gases mezclados, precisos y repetibles.
si la anticorrosión	corrosión proteccion
el tiempo de respuesta	30 ms o menos
medición rango	3.8 x10-5-1125 torr.
molecular unidad de bomba (opcional)
unidad voltaje de entrada	380 v / 220 v
acanalado tubo	kf40x1000
vacío válvula deflectora	kf40
caso Talla	600 x600x600
molecular modelo de bomba	fj620
entrada voltaje	380 v
molecular brida de entrada de la bomba	dn160
molecular velocidad de bombeo de la bomba l / s (para aire)	600
molecular presión límite de la bomba (pa)	6 x 10-7
enfriamiento sistema	agua enfriado
enfriamiento presión de agua (mpa)	0.1 a 0.2
enfriamiento temperatura de agua	& lt; 25 ℃ & lt; p = "" & gt;
el Temperatura ambiental	0 ~ 40 ℃
sugirió presión inicial	& lt; 100 pa & lt; p = "" & gt;
motor bomba de vacío rvp - 6
poder	0,75 kw
voltaje	380 v
velocidad	1450 rpm
entrada diámetro	kf25 / kf40
bomba velocidad de bombeo (l / s)	6 6
último presión	4 4 x10-2 pa
alemán bomba de vacío pfeiffer
voltaje	220 v
poder	110 w.
extracción interfaz	kf40
el peso de la	150 kg
bomba velocidad de la bomba delantera	0.9 m 3 / h
extracción tasa (n2)	33 Sra
compuesto indicador de vacio
compuesto modelo de medidor de vacío	zdf
el fuente de alimentación	220 v 55 w
controlar precisión	más o menos 1%
vacío rango de medición del medidor	10-5-10 5 pa

partes	número
tl1200-1200 horno de tubo	1 juego
cuarzo tubo	1
ss brida	1 juego
inoxidable gancho de acero	1
alúmina tapón de horno	3
alto guantes de temperatura	1 par
alúmina crisol	1
Ｋ par termoeléctrico	1
485 transformar interfaces y software （ Opcional ）	1 juego
instrucción libro	1
brida apoyo	1
gas sistema de suministros	1
vs-0.1air sistema de extracción	1
rf poder	1
contera	4 4 个
bramido	1
vacío válvula deflectora	1
cyl conector （ n representa el número de canales ）	norte
válvula conector	2
ptfe tubería (n significa número de canales)	n * 5

PECVD Furnace

1) suministramos maquinas con soporte de tecnología de batería.

2) nosotros proveemos conjunto completo de equipo de batería de litio para investigación de laboratorio, investigación a escala piloto y producción lin mi.

1 paquete estándar exportado: protección anticolisión interna, embalaje de caja de madera de exportación externa.

2 envío por expreso, por aire, por mar de acuerdo con los requisitos de los clientes para encontrar la forma más adecuada.

3 responsables del daño durante el proceso de envío, cambiará la parte del daño por usted de forma gratuita.

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sistema deslizante pecvd Horno de 1200 pecvd sistema pecvd

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