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3 zona de temperatura 150 mm od horno de pecvd

Model Number:
TMAX-1200-1200-1200
Pago:
L/C D/A D/P T/T Western Union
Delivery Time:
15 day

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Detalles del producto

3 zona de temperatura 150 mm od horno de pecvd

tmax-1200-1200-1200 el sistema es compuesto por horno de tubo de vacío tl1200, cámara de vacío de cuarzo, fuente de alimentación de rf, Sistema de suministro de gas gx, sistema de bombeo y sistema de medición de vacío.

principales características:

1. el gas en La cámara de vacío de cuarzo se cambia a estado iónico por la fuente de alimentación RF.

2. pecvd es cvd más bajo de lo normal para la deposición química de vapor.

3. el estrés de Las películas depositadas pueden controlarse mediante la frecuencia de la fuente de alimentación RF.

4. pecvd tiene alta tasa de deposición, buena uniformidad, consistencia y estabilidad que el cvd normal.

5. ampliamente utilizado en el crecimiento de varias películas, como siox, sinx, sioxny y amorphous silicio (a-si: h), etc.

el tl1200 - técnica del sistema pecvd al elemento calefactor de alambre de resistencia kanthal sueco, usando una estructura de doble capa y una tabla de control de temperatura de 30 programas, gatillo de cambio de fase, control de tiristores, horno con policristalino material de fibra de alúmina, puede sellar bridas de acero inoxidable en ambos extremos del tubo de horno, instalación de brida de acero inoxidable tiene una boca, válvula y manómetro, vacío, grado de vacío puede alcanzar 10-3 pa, campo de baja temperatura balanceo, temperatura de la superficie, velocidad de elevación, ahorro de energía, precio concesiones, etc.

1. kanthal a1 cable de resistencia de suecia

kanthal a1 resistencia original de alambre chino horno de alambre vs horno de alambre de resistencia importado

(1), la temperatura superficial alta puede alcanzar 1420 ℃

(2) la superficie es de acero inoxidable (muy brillante, el cliente debe prestarle atención), no se oxidará y el tiempo de uso no disminuirá fuera de la escoria.

(3) se descargan los datos del cable de resistencia kanthal

(4) sitio web del cable de resistencia kanthal: www.kanthal.com

(5) la resistencia está equilibrada y el campo de temperatura es igualmente bueno

la mayoría de los fabricantes usan aleación fe-cr-al dopada por mo cable de resistencia, que

a veces la resistencia es desigual y parte del calor es pequeño kanthal La resistencia a1 es uniforme y equilibrada con el calor, buen campo de temperatura efecto

2. instalación de aire interruptor y protector de fugas:

cuando una corriente eléctrica o una fuga, una reunión vacía se desconecta automáticamente.

3) se puede conectar con la computadora

este horno está equipado con interfaz de comunicación y software, puede ser directamente a través del control de la computadora del horno de cada parámetro, y se puede observar desde la computadora pv en la estufa y sv valor de temperatura y operación del instrumento, la temperatura real de la curva del horno que dibuja la computadora en tiempo real, y puede mantener los datos de temperatura de cada vez, puede llamar en cualquier momento

4) cámara

(1 ) alta calidad de alúmina pura pura policristalina horno de fibra curada con succión al vacío y moldeo por filtro.

(2) adoptar tecnología japonesa para formar.

(3) La separación y el paso del cable de resistencia en el horno están organizados de acuerdo con la mejor tecnología térmica de Japón, y el el campo de temperatura es simulado por software térmico

(4) usando 4 semanas calentamiento, la temperatura es más equilibrada

5. opcional ul tablero eléctrico certificado (todo a través de la certificación ul de importados electrodomésticos)

6. disparador

arranque suave disparador limitador de corriente la mayoría de los fabricantes usan disparadores xiamen bode no limitantes

Disparador de cambio de 1 fase (con arranque suave y limitación de corriente función)

2. función de limitación de corriente, no importa cómo ajustar la calefacción tiempo que el horno eléctrico después de la corriente secundaria del transformador se limita a Protección 170a o menos limitada del equipo. disparador no limitante si la velocidad de calentamiento está configurada incorrectamente o demasiado rápido. baja corriente actual es muy grande el dispositivo se disparará o se quemará.

3 función de arranque suave, la corriente aumentará lentamente actual el impacto del elemento calefactor es pequeño es propicio para el extensión de la vida del elemento calefactor

4 la función de protección si la corriente excede el límite actual el gatillo cortará automáticamente la función del gatillo para cortar El horno de protección actual.

7. ul transformador certificado

1 el cable del transformador es puro cobre

2 el transformador suena pequeño

3 la temperatura del transformador es bajo

8. una variedad de opciones para elegir una variedad de bridas (diámetro de 25 a 250 mm)

modelo	tmax-1200-1200-1200 - yo	tmax-1200-1200-1200 -ii	tmax-1200-1200-1200 -iii	tmax-1200-1200-1200 -iv
tamaño del tubo	120 (od) x1800mm de diámetro	60 (od) x1800mm de diámetro	80 (od) x1800mm de diámetro	100 (od) x1800mm de diámetro
dimensiones totales (lxdxh)	1800 x480x680	1800 x410x610	1800 x410x610	1800 x460x660
el voltaje de la fuente de alimentación	220 v
material de riel deslizante	Acero inoxidable 304
modo deslizante	rodamiento de acero inoxidable
número de fase	fase única
elemento de calefacción	importación sueca canthal a1 resistencia haga clic en la descarga de datos
el modo de control	utilizando el control de programa eléctrico yu termómetro (estándar) 1. 30 programa de control de temperatura inteligente pid ajuste. 2. el circuito de calefacción del horno eléctrico se puede cortar automáticamente cuando ha sido protegido por calor o roto accidentalmente. (cuando el horno la temperatura excede los 1200 grados o el termopar está roto, el relé de CA en el circuito principal se desconectará automáticamente, el circuito principal es roto, la luz en el panel está apagada, apagada, la protección limitada horno eléctrico. 3. con interfaz de comunicación 485 (estándar y estándar para elegir software) 4. tiene la función de protección de falla de energía, es decir, cuando la energía está apagado, el programa no se iniciará desde la temperatura inicial, pero el el horno comenzará a elevarse cuando se desconecte la energía. el instrumento tiene la función de autoajuste de temperatura (para reemplazar el instrumento importado, tenemos que pagar otra tarifa) fp93 mesa de control de temperatura (shimaden) europeo instrumentos pantalla táctil instrumento
el modo de control de temperatura	pid
Protección y pantalla rotas	si
protección contra sobretemperatura	si
protección contra la sobretensión	si
control de precisión	+ / - 1 ℃
el gatillo	disparo de cambio de fase
electrodomésticos	Chint de Zhejiang
rectificador controlado de silicio	106 / 16e puerta oeste, alemania
la temperatura más alta	zona de temperatura1: 1200 ℃ temperatura zona 2: 1200 ℃
la temperatura nominal	zona de temperatura1: 1100 ℃ temperatura zona 2: 1100 ℃
velocidad de calentamiento	los 20 ℃ / min o menos (puede modificar según el requisito)
velocidad de calentamiento recomendada	10 ℃ / min o menos
modelo de termopar	zonas 1: rango de temperatura de tipo k 2: tipo k
longitud de calentamiento	zonas 1: rango de temperatura de 200 mm. 2: 200 mm
certificación eléctrica	ce
temperatura de la superficie circundante	45 ℃ o menos
fuente de alimentación de rf	(plasma generador)
rango de salida de potencia	0-500 w
máxima potencia reflejada	200 w.
frecuencia de trabajo	rf: 13.56 mhz más o menos 0.005%
estabilidad de poder	+ / - 0.1%
componente armónico	- 50 o menos dbc
ancho de rf	0-600 - mm es ajustable
modo coincidente	automático
modo de enfriamiento	aire frio
ruido	el & lt; 50 db
la interfaz de radiofrecuencia	50 Ω n - tipo
potencia de entrada	208-240 - v 50/60 hz
parámetros principales del suministro de gas gx sistema	medidor de flujo de masa el rango estándar utilizando el controlador de flujo de protones 5, 10, 20, 30, 50, 100, 200, 300, 500 sccm, 1, 2, 3, 5, 10 slm (puede elegir el rango del rango y el tipo de gas) presión máxima de trabajo 3 mp la precisión de más o menos 1.5% la caída de presión & lt; 0,01 mpa & lt; p = "" & gt; precisión de repetición más o menos 0.2% f.s
canales:	1, 2, 3, 4, 5, 6, 7, 8 (opcional)
tipo de articulación	doble cassette de acero inoxidable conector
rango de presión de trabajo del sistema	0.1 ~ 0.5 mpa
temperatura de trabajo	5-45 ℃
reloj de vacío de presión	0.1 ~ 0.15 mpa a 0.01 mpa / caja
cámara de mezcla estática	dia50 x 400 mm
interfaz	dia6 1/4 "
la fuente de poder	220 v
Talla	600 x600x600
tubo corrugado	kf25x1000mm
el grado de vacío se puede alcanzar con este sistema	10-1 el pa
válvula deflectora de vacío	kf25
bomba de vacío de vrd a 8
modelo	vrd a 8
presión parcial limitante	5 x10-2 pa
interfaz de escape de entrada	kf25
velocidad del motor	1440 rpm
tasa de extracción	2.2 l / s
fuerza de motor	0.4 kw
perfeer acp1 multi-etapa sin aceite bomba de raíces (plan 2)
modelo	acp15
fuente de alimentación	ac100 ~ 240v 50 / 60hz
poder	450 w
interfaz de escape	kf25
peso	25 kg
la tasa máxima de fuga de helio es	5 · 10-8 pa m3 / s
grado de vacío extremo	0.02 torr
la tasa de extracción es	14 m3 / h
modelo	zdr - 1
poder	25 w.
rango de medición de grado de vacío	0.1-10 5 pa
silicio de resistencia	lo que zj tenía a 52 t
Suecia (inficon) capacitancia pirani medidor de vacío (opcional)
modelo	pcg554
voltaje de entrada	24v 1a dc (equipado con 220v transformador)
interfaz de medidor de vacío	kf16
Pantalla digital	pantalla digital (tamaño de pantalla 20x14 mm), cuya unidad de visualización de datos es torr
tamaño del producto	46 mm x 28 mm x 126 mm (largo x ancho x alto)
el peso de la	5 libras
detección de gas	se pueden detectar varios gases incluyendo gases mezclados, precisos y repetibles.
si la anticorrosión	protección contra la corrosión
el tiempo de respuesta	30 ms o menos
rango de medición	3.8 x10-5-1125 torr.
unidad de bomba molecular (opcional)
voltaje de entrada de la unidad	380 v / 220 v
tubo corrugado	kf40x1000
válvula deflectora de vacío	kf40
tamaño de la caja	600 x600x600
bomba molecular
modelo de bomba molecular	fj620
voltaje de entrada	380 v
brida de entrada de la bomba molecular	dn160
tasa de bombeo de la bomba molecular l / s (para aire)	600
presión límite de bomba molecular (pa)	6 x 10-7
sistema de refrigeración	Enfriado hidráulicamente
presión de agua de enfriamiento (mpa)	0.1 a 0.2
temperatura del agua de enfriamiento	& lt; 25 ℃ & lt; p = "" & gt;
la temperatura ambiente	0 ~ 40 ℃
presión de inicio sugerida	& lt; 100 pa & lt; p = "" & gt;
bomba de vacío del motor rvp - 6
poder	0,75 kw
voltaje	380 v
velocidad	1450 rpm
diámetro de entrada	kf25 / kf40
tasa de bombeo de la bomba (l / s)	6 6
presión máxima	4 x10-2 pa
bomba de vacío alemana pfeiffer
voltaje	220 v
poder	110 w.
interfaz de extracción	kf40
el peso de la	150 kg
velocidad de la bomba de la bomba delantera	0.9 m 3 / h
tasa de extracción (n2)	33 m / s
medidor de vacío compuesto
modelo de medidor de vacío compuesto	zdf
la fuente de poder	220 v 55 w
control de precisión	más o menos 1%
rango de medición del medidor de vacío	10-5-10 5 pa

PECVD Furnace

1) suministramos maquinas con soporte de tecnología de batería.

2) nosotros proveemos conjunto completo de equipo de batería de litio para investigación de laboratorio, investigación a escala piloto y producción lin mi.

1 paquete estándar exportado: protección anticolisión interna, embalaje de caja de madera de exportación externa.

2 envío por expreso, por aire, por mar de acuerdo con los requisitos de los clientes para encontrar la forma más adecuada.

3 responsables del daño durante el proceso de envío, cambiará la parte del daño por usted de forma gratuita.

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horno de tubo pecvd Horno de 3 grados de temperatura. horno de pecvd

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