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3 zona de temperatura 150 mm od horno de pecvd
Model Number:
TMAX-1200-1200-1200Pago:
L/C D/A D/P T/T Western UnionDelivery Time:
15 day
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generador rf para horno de tubo de 50, 80 o 125 mm od
3 zona de temperatura 150 mm od horno de pecvd
tmax-1200-1200-1200 el sistema es compuesto por horno de tubo de vacío tl1200, cámara de vacío de cuarzo, fuente de alimentación de rf, Sistema de suministro de gas gx, sistema de bombeo y sistema de medición de vacío.
principales características:
1. el gas en La cámara de vacío de cuarzo se cambia a estado iónico por la fuente de alimentación RF.
2. pecvd es cvd más bajo de lo normal para la deposición química de vapor.
3. el estrés de Las películas depositadas pueden controlarse mediante la frecuencia de la fuente de alimentación RF.
4. pecvd tiene alta tasa de deposición, buena uniformidad, consistencia y estabilidad que el cvd normal.
5. ampliamente utilizado en el crecimiento de varias películas, como siox, sinx, sioxny y amorphous silicio (a-si: h), etc.
el tl1200 - técnica del sistema pecvd al elemento calefactor de alambre de resistencia kanthal sueco, usando una estructura de doble capa y una tabla de control de temperatura de 30 programas, gatillo de cambio de fase, control de tiristores, horno con policristalino material de fibra de alúmina, puede sellar bridas de acero inoxidable en ambos extremos del tubo de horno, instalación de brida de acero inoxidable tiene una boca, válvula y manómetro, vacío, grado de vacío puede alcanzar 10-3 pa, campo de baja temperatura balanceo, temperatura de la superficie, velocidad de elevación, ahorro de energía, precio concesiones, etc.
1. kanthal a1 cable de resistencia de suecia
kanthal a1 resistencia original de alambre chino horno de alambre vs horno de alambre de resistencia importado
(1), la temperatura superficial alta puede alcanzar 1420 ℃
(2) la superficie es de acero inoxidable (muy brillante, el cliente debe prestarle atención), no se oxidará y el tiempo de uso no disminuirá fuera de la escoria.
(3) se descargan los datos del cable de resistencia kanthal
(4) sitio web del cable de resistencia kanthal: www.kanthal.com
(5) la resistencia está equilibrada y el campo de temperatura es igualmente bueno
la mayoría de los fabricantes usan aleación fe-cr-al dopada por mo cable de resistencia, que
a veces la resistencia es desigual y parte del calor es pequeño kanthal La resistencia a1 es uniforme y equilibrada con el calor, buen campo de temperatura efecto
2. instalación de aire interruptor y protector de fugas:
cuando una corriente eléctrica o una fuga, una reunión vacía se desconecta automáticamente.
3) se puede conectar con la computadora
este horno está equipado con interfaz de comunicación y software, puede ser directamente a través del control de la computadora del horno de cada parámetro, y se puede observar desde la computadora pv en la estufa y sv valor de temperatura y operación del instrumento, la temperatura real de la curva del horno que dibuja la computadora en tiempo real, y puede mantener los datos de temperatura de cada vez, puede llamar en cualquier momento
4) cámara
(1 ) alta calidad de alúmina pura pura policristalina horno de fibra curada con succión al vacío y moldeo por filtro.
(2) adoptar tecnología japonesa para formar.
(3) La separación y el paso del cable de resistencia en el horno están organizados de acuerdo con la mejor tecnología térmica de Japón, y el el campo de temperatura es simulado por software térmico
(4) usando 4 semanas calentamiento, la temperatura es más equilibrada
5. opcional ul tablero eléctrico certificado (todo a través de la certificación ul de importados electrodomésticos)
6. disparador
arranque suave disparador limitador de corriente la mayoría de los fabricantes usan disparadores xiamen bode no limitantes
Disparador de cambio de 1 fase (con arranque suave y limitación de corriente función)
2. función de limitación de corriente, no importa cómo ajustar la calefacción tiempo que el horno eléctrico después de la corriente secundaria del transformador se limita a Protección 170a o menos limitada del equipo. disparador no limitante si la velocidad de calentamiento está configurada incorrectamente o demasiado rápido. baja corriente actual es muy grande el dispositivo se disparará o se quemará.
3 función de arranque suave, la corriente aumentará lentamente actual el impacto del elemento calefactor es pequeño es propicio para el extensión de la vida del elemento calefactor
4 la función de protección si la corriente excede el límite actual el gatillo cortará automáticamente la función del gatillo para cortar El horno de protección actual.
7. ul transformador certificado
1 el cable del transformador es puro cobre
2 el transformador suena pequeño
3 la temperatura del transformador es bajo
8. una variedad de opciones para elegir una variedad de bridas (diámetro de 25 a 250 mm)
modelo |
tmax-1200-1200-1200 - yo |
tmax-1200-1200-1200 -ii |
tmax-1200-1200-1200 -iii |
tmax-1200-1200-1200 -iv |
|
tamaño del tubo |
120 (od) x1800mm de diámetro |
60 (od) x1800mm de diámetro |
80 (od) x1800mm de diámetro |
100 (od) x1800mm de diámetro |
|
dimensiones totales (lxdxh) |
1800 x480x680 |
1800 x410x610 |
1800 x410x610 |
1800 x460x660 |
|
el voltaje de la fuente de alimentación |
220 v |
||||
material de riel deslizante |
Acero inoxidable 304 |
||||
modo deslizante |
rodamiento de acero inoxidable |
||||
número de fase |
fase única |
||||
elemento de calefacción |
importación sueca canthal a1 resistencia haga clic en la descarga de datos |
||||
el modo de control |
utilizando el control de programa eléctrico yu termómetro (estándar) el instrumento tiene la función de autoajuste de temperatura
|
||||
el modo de control de temperatura |
pid |
||||
Protección y pantalla rotas |
si |
||||
protección contra sobretemperatura |
si |
||||
protección contra la sobretensión |
si |
||||
control de precisión |
+ / - 1 ℃ |
||||
el gatillo |
disparo de cambio de fase |
||||
electrodomésticos |
Chint de Zhejiang |
||||
rectificador controlado de silicio |
106 / 16e puerta oeste, alemania |
||||
la temperatura más alta |
zona de temperatura1: 1200 ℃ temperatura zona 2: 1200 ℃ |
||||
la temperatura nominal |
zona de temperatura1: 1100 ℃ temperatura zona 2: 1100 ℃ |
||||
velocidad de calentamiento |
los 20 ℃ / min o menos (puede modificar según el requisito) |
||||
velocidad de calentamiento recomendada |
10 ℃ / min o menos |
||||
modelo de termopar |
zonas 1: rango de temperatura de tipo k 2: tipo k |
||||
longitud de calentamiento |
zonas 1: rango de temperatura de 200 mm. 2: 200 mm |
||||
certificación eléctrica |
ce |
||||
temperatura de la superficie circundante |
45 ℃ o menos |
||||
fuente de alimentación de rf |
|
||||
rango de salida de potencia |
0-500 w |
||||
máxima potencia reflejada |
200 w. |
||||
frecuencia de trabajo |
rf: 13.56 mhz más o menos 0.005% |
||||
estabilidad de poder |
+ / - 0.1% |
||||
componente armónico |
- 50 o menos dbc |
||||
ancho de rf |
0-600 - mm es ajustable |
||||
modo coincidente |
automático |
||||
modo de enfriamiento |
aire frio |
||||
ruido |
el & lt; 50 db |
||||
la interfaz de radiofrecuencia |
50 Ω n - tipo |
||||
potencia de entrada |
208-240 - v 50/60 hz |
||||
parámetros principales del suministro de gas gx sistema |
medidor de flujo de masa |
||||
canales: |
1, 2, 3, 4, 5, 6, 7, 8 (opcional) |
||||
tipo de articulación |
doble cassette de acero inoxidable conector |
||||
rango de presión de trabajo del sistema |
0.1 ~ 0.5 mpa |
||||
temperatura de trabajo |
5-45 ℃ |
||||
reloj de vacío de presión |
0.1 ~ 0.15 mpa a 0.01 mpa / caja |
||||
cámara de mezcla estática |
dia50 x 400 mm |
||||
interfaz |
dia6 1/4 " |
||||
la fuente de poder |
220 v |
||||
Talla |
600 x600x600 |
||||
tubo corrugado |
kf25x1000mm |
||||
el grado de vacío se puede alcanzar con este sistema |
10-1 el pa |
||||
válvula deflectora de vacío |
kf25 |
||||
bomba de vacío de vrd a 8 |
|||||
modelo |
vrd a 8 |
||||
presión parcial limitante |
5 x10-2 pa |
||||
interfaz de escape de entrada |
kf25 |
||||
velocidad del motor |
1440 rpm |
||||
tasa de extracción |
2.2 l / s |
||||
fuerza de motor |
0.4 kw |
||||
perfeer acp1 multi-etapa sin aceite bomba de raíces (plan 2) |
|||||
modelo |
acp15 |
||||
fuente de alimentación |
ac100 ~ 240v 50 / 60hz |
||||
poder |
450 w |
||||
interfaz de escape |
kf25 |
||||
peso |
25 kg |
||||
la tasa máxima de fuga de helio es |
5 · 10-8 pa m3 / s |
||||
grado de vacío extremo |
0.02 torr |
||||
la tasa de extracción es |
14 m3 / h |
||||
modelo |
zdr - 1 |
||||
poder |
25 w. |
||||
rango de medición de grado de vacío |
0.1-10 5 pa |
||||
silicio de resistencia |
lo que zj tenía a 52 t |
||||
Suecia (inficon) capacitancia pirani medidor de vacío (opcional) |
|||||
modelo |
pcg554 |
||||
voltaje de entrada |
24v 1a dc (equipado con 220v transformador) |
||||
interfaz de medidor de vacío |
kf16 |
||||
Pantalla digital |
pantalla digital (tamaño de pantalla 20x14 mm), cuya unidad de visualización de datos es torr |
||||
tamaño del producto |
46 mm x 28 mm x 126 mm (largo x ancho x alto) |
||||
el peso de la |
5 libras |
||||
detección de gas |
se pueden detectar varios gases incluyendo gases mezclados, precisos y repetibles. |
||||
si la anticorrosión |
protección contra la corrosión |
||||
el tiempo de respuesta |
30 ms o menos |
||||
rango de medición |
3.8 x10-5-1125 torr. |
||||
unidad de bomba molecular (opcional) |
|||||
voltaje de entrada de la unidad |
380 v / 220 v |
||||
tubo corrugado |
kf40x1000 |
||||
válvula deflectora de vacío |
kf40 |
||||
tamaño de la caja |
600 x600x600 |
||||
bomba molecular |
|
||||
modelo de bomba molecular |
fj620 |
||||
voltaje de entrada |
380 v |
||||
brida de entrada de la bomba molecular |
dn160 |
||||
tasa de bombeo de la bomba molecular l / s (para aire) |
600 |
||||
presión límite de bomba molecular (pa) |
6 x 10-7 |
||||
sistema de refrigeración |
Enfriado hidráulicamente |
||||
presión de agua de enfriamiento (mpa) |
0.1 a 0.2 |
||||
temperatura del agua de enfriamiento |
& lt; 25 ℃ & lt; p = "" & gt; |
||||
la temperatura ambiente |
0 ~ 40 ℃ |
||||
presión de inicio sugerida |
& lt; 100 pa & lt; p = "" & gt; |
||||
bomba de vacío del motor rvp - 6 |
|||||
poder |
0,75 kw |
||||
voltaje |
380 v |
||||
velocidad |
1450 rpm |
||||
diámetro de entrada |
kf25 / kf40 |
||||
tasa de bombeo de la bomba (l / s) |
6 6 |
||||
presión máxima |
4 x10-2 pa |
||||
bomba de vacío alemana pfeiffer |
|||||
voltaje |
220 v |
||||
poder |
110 w. |
||||
interfaz de extracción |
kf40 |
||||
el peso de la |
150 kg |
||||
velocidad de la bomba de la bomba delantera |
0.9 m 3 / h |
||||
tasa de extracción (n2) |
33 m / s |
||||
medidor de vacío compuesto |
|||||
modelo de medidor de vacío compuesto |
zdf |
||||
la fuente de poder |
220 v 55 w |
||||
control de precisión |
más o menos 1% |
||||
rango de medición del medidor de vacío |
10-5-10 5 pa |
1) suministramos maquinas con soporte de tecnología de batería.
2) nosotros proveemos conjunto completo de equipo de batería de litio para investigación de laboratorio, investigación a escala piloto y producción lin mi.
1 paquete estándar exportado: protección anticolisión interna, embalaje de caja de madera de exportación externa.
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3 responsables del daño durante el proceso de envío, cambiará la parte del daño por usted de forma gratuita.