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Sliding PECVD Furnace

Horno de tubo deslizante pecvd de 3 zonas de temperatura

  • Model Number:

    TMAX-1200-1400-1200
  • Pago:

    L/C D/A D/P T/T Western Union
  • Delivery Time:

    15 day
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Detalles del producto

Horno de tubo deslizante pecvd de 3 zonas de temperatura


tmax-1200-1400-1200 el sistema es compuesto por horno de tubo de vacío tl1200, cámara de vacío de cuarzo, fuente de alimentación de rf, Sistema de suministro de gas gx, sistema de bombeo y sistema de medición de vacío.

principales características:

1. el gas en La cámara de vacío de cuarzo se cambia a estado iónico por la fuente de alimentación RF.

2. pecvd es cvd más bajo de lo normal para la deposición química de vapor.

3. el estrés de Las películas depositadas pueden controlarse mediante la frecuencia de la fuente de alimentación RF.

4. pecvd tiene alta tasa de deposición, buena uniformidad, consistencia y estabilidad que el cvd normal.

5. ampliamente utilizado en el crecimiento de varias películas, como siox, sinx, sioxny y amorphous silicio (a-si: h), etc.

tmax1200-1400-1200-h-pe técnica de sistema para el elemento calefactor de alambre de resistencia kanthal sueco, usando una estructura de doble capa y una tabla de control de temperatura de 30 programas, gatillo de cambio de fase, control de tiristores, horno con policristalino material de fibra de alúmina, puede sellar bridas de acero inoxidable en ambos extremos del tubo de horno, instalación de brida de acero inoxidable tiene una boca, válvula y manómetro, vacío, grado de vacío puede alcanzar 10-3 pa, campo de baja temperatura balanceo, temperatura de la superficie, velocidad de elevación, ahorro de energía, precio concesiones, etc.

1. kanthal a1 cable de resistencia de suecia

kanthal a1 resistencia original de alambre chino horno de alambre vs   horno de alambre de resistencia importado

(1), la temperatura superficial alta puede alcanzar 1420

(2) la superficie es de acero inoxidable (muy brillante, el cliente debe prestarle atención), no se oxidará y el tiempo de uso no disminuirá fuera de la escoria.

(3) se descargan los datos del cable de resistencia kanthal

(4) sitio web del cable de resistencia kanthal: www.kanthal.com

(5) la resistencia está equilibrada y el campo de temperatura es igualmente bueno

la mayoría de los fabricantes usan aleación fe-cr-al dopada por mo cable de resistencia, que

a veces la resistencia es desigual y parte del calor es pequeño                                           kanthal La resistencia a1 es uniforme y equilibrada con el calor, buen campo de temperatura                                                                                                                                                                       efecto

2. instalación de aire interruptor y protector de fugas:

cuando una corriente eléctrica o una fuga, una reunión vacía se desconecta automáticamente.

3) se puede conectar con la computadora

este horno está equipado con interfaz de comunicación y software, puede ser directamente a través del control de la computadora del horno de cada parámetro, y se puede observar desde la computadora pv en la estufa y sv valor de temperatura y operación del instrumento, la temperatura real de la curva del horno que dibuja la computadora en tiempo real, y puede mantener los datos de temperatura de cada vez, puede llamar en cualquier momento

4) cámara

(1 ) alta calidad de alúmina pura pura policristalina horno de fibra curada con succión al vacío y moldeo por filtro.

(2) adoptar tecnología japonesa para formar.

(3) La separación y el paso del cable de resistencia en el horno están organizados de acuerdo con la mejor tecnología térmica de Japón, y el el campo de temperatura es simulado por software térmico

(4) usando 4 semanas calentamiento, la temperatura es más equilibrada

5. opcional ul tablero eléctrico certificado (todo a través de la certificación ul de importados electrodomésticos)

6. disparador

arranque suave disparador limitador de corriente                           la mayoría de los fabricantes usan disparadores xiamen bode no limitantes

Disparador de cambio de 1 fase (con arranque suave y limitación de corriente función)

2. función de limitación de corriente, no importa cómo ajustar la calefacción tiempo que el horno eléctrico después de la corriente secundaria del transformador se limita a Protección 170a o menos limitada del equipo. disparador no limitante si la velocidad de calentamiento está configurada incorrectamente o demasiado rápido. baja corriente actual es muy grande el dispositivo se disparará o se quemará.

3 función de arranque suave, la corriente aumentará lentamente actual el impacto del elemento calefactor es pequeño es propicio para el extensión de la vida del elemento calefactor

4 la función de protección si la corriente excede el límite actual el gatillo cortará automáticamente la función del gatillo para cortar El horno de protección actual.

7. ul transformador certificado

1 el cable del transformador es puro cobre

2 el transformador suena pequeño

3 la temperatura del transformador es bajo

8. una variedad de opciones para elegir una variedad de bridas (diámetro de 25 a 250 mm)

modelo

tmax-1200-1400-1200

poder

6kw

tamaño del tubo

dia 60 (od) x2700mm

el voltaje de la fuente de alimentación

220 v

número de fase

fase única

elemento de calefacción

importación sueca canthal a1 resistencia   haga clic en la descarga de datos

el modo de control

utilizando el control de programa eléctrico yu   termómetro (estándar)
1. 30 programa de control de temperatura inteligente pid ajuste.
2. el circuito de calefacción del horno eléctrico se puede cortar automáticamente   cuando ha sido protegido por calor o roto accidentalmente. (cuando el horno   la temperatura excede los 1200 grados o el termopar está roto, el relé de CA   en el circuito principal se desconectará automáticamente, el circuito principal es   roto, la luz en el panel está apagada, apagada, la protección limitada   horno eléctrico.
3. con interfaz de comunicación 485 (estándar y estándar para elegir   software)
4. tiene la función de protección de falla de energía, es decir, cuando la energía   está apagado, el programa no se iniciará desde la temperatura inicial, pero el   el horno comenzará a elevarse cuando se desconecte la energía.
el instrumento tiene la función de autoajuste de temperatura


(para reemplazar el instrumento importado, tenemos que pagar otra tarifa).

Instrumentos europeos de control de temperatura fp93          instrumento con pantalla táctil

(shimaden)

el modo de control de temperatura

pid

Protección y pantalla rotas

si

protección contra sobretemperatura

si

protección contra la sobretensión

si

control de precisión

+ / - 1

el gatillo

disparo de cambio de fase

electrodomésticos

Chint de Zhejiang

rectificador controlado de silicio

106 / 16e puerta oeste, alemania

la temperatura más alta

zona de temperatura1: 1200 temperatura   zona 2: 1200

la temperatura nominal

zona de temperatura1: 1100 temperatura   zona 2: 1100

velocidad de calentamiento

los 20 / min o menos   (puede modificar según el requisito)

velocidad de calentamiento recomendada

10 / min o menos

modelo de termopar

zonas 1: rango de temperatura de tipo k   2: tipo k

longitud de calentamiento

zonas 1: rango de temperatura de 200 mm.   2: 200 mm

certificación eléctrica

ce

temperatura de la superficie circundante

45 o menos

fuente de alimentación de rf

(generador de plasma)

rango de salida de potencia

0-500 w

máxima potencia reflejada

200 w.

frecuencia de trabajo

rf: 13.56 mhz más o menos 0.005%

estabilidad de poder

+ / - 0.1%

componente armónico

- 50 o menos dbc

ancho de rf

0-600 - mm es ajustable

modo coincidente

automático

modo de enfriamiento

aire frio

ruido

el & lt; 50 db

la interfaz de radiofrecuencia

50 Ω n - tipo

potencia de entrada

208-240 - v 50/60 hz

parámetros principales del suministro de gas gx   sistema

medidor de flujo de masa
el rango estándar
utilizando el controlador de flujo de protones 5, 10, 20, 30, 50, 100, 200, 300, 500 sccm,   1, 2, 3, 5, 10 slm
(puede elegir el rango del rango y el tipo de gas)
presión máxima de trabajo 3 mp
la precisión de más o menos 1.5%
la caída de presión & lt; 0,01 mpa & lt; p = "" & gt;
precisión de repetición más o menos 0.2% f.s

canales:

1, 2, 3, 4, 5, 6, 7, 8 (opcional)

tipo de articulación

doble cassette de acero inoxidable   conector

rango de presión de trabajo del sistema

0.1 ~ 0.5 mpa

temperatura de trabajo

5-45

reloj de vacío de presión

0.1 ~ 0.15 mpa a 0.01 mpa / caja

cámara de mezcla estática

dia50 x 400 mm

interfaz

dia6 1/4 "

la fuente de poder

220 v

Talla

600 x600x600

tubo corrugado

kf25x1000mm

el grado de vacío se puede alcanzar con   este sistema

10-1 el pa

válvula deflectora de vacío

kf25

bomba de vacío de vrd a 8

modelo

vrd a 8

presión parcial limitante

5 x10-2 pa

interfaz de escape de entrada

kf25

velocidad del motor

1440 rpm

tasa de extracción

2.2 l / s

fuerza de motor

0.4 kw

perfeer acp1 multi-etapa sin aceite   bomba de raíces (plan 2)

modelo

acp15

fuente de alimentación

ac100 ~ 240v 50 / 60hz

poder

450 w

interfaz de escape

kf25

peso

25 kg

la tasa máxima de fuga de helio es

5 · 10-8 pa m3 / s

grado de vacío extremo

0.02 torr

la tasa de extracción es

14 m3 / h

modelo

zdr - 1

poder

25 w.

rango de medición de grado de vacío

0.1-10 5 pa

silicio de resistencia

lo que zj tenía a 52 t

Suecia (inficon) capacitancia pirani   medidor de vacío (opcional)

modelo

pcg554

voltaje de entrada

24v 1a dc (equipado con 220v   transformador)

interfaz de medidor de vacío

kf16

Pantalla digital

pantalla digital (tamaño de pantalla 20x14 mm),   cuya unidad de visualización de datos es torr

tamaño del producto

46 mm x 28 mm x 126 mm (largo x ancho x alto)

el peso de la

5 libras

detección de gas

se pueden detectar varios gases   incluyendo gases mezclados, precisos y repetibles.

si la anticorrosión

protección contra la corrosión

el tiempo de respuesta

30 ms o menos

rango de medición

3.8 x10-5-1125 torr.

unidad de bomba molecular (opcional)

voltaje de entrada de la unidad

380 v / 220 v

tubo corrugado

kf40x1000

válvula deflectora de vacío

kf40

tamaño de la caja

600 x600x600

bomba molecular

modelo de bomba molecular

fj620

voltaje de entrada

380 v

brida de entrada de la bomba molecular

dn160

tasa de bombeo de la bomba molecular l / s (para   aire)

600

presión límite de bomba molecular (pa)

6 x 10-7

sistema de refrigeración

Enfriado hidráulicamente

presión de agua de enfriamiento (mpa)

0.1 a 0.2

temperatura del agua de enfriamiento

& lt; 25 & lt; p =   "" & gt;

la temperatura ambiente

0 ~ 40

presión de inicio sugerida

& lt; 100 pa & lt; p = "" & gt;

bomba de vacío del motor rvp - 6

poder

0,75 kw

voltaje

380 v

velocidad

1450 rpm

diámetro de entrada

kf25 / kf40

tasa de bombeo de la bomba (l / s)

6 6

presión máxima

4 x10-2 pa

bomba de vacío alemana pfeiffer

voltaje

220 v

poder

110 w.

interfaz de extracción

kf40

el peso de la

150 kg

velocidad de la bomba de la bomba delantera

0.9 m 3 / h

tasa de extracción (n2)

33 m / s

medidor de vacío compuesto

modelo de medidor de vacío compuesto

zdf

la fuente de poder

220 v 55 w

control de precisión

más o menos 1%

rango de medición del medidor de vacío

10-5-10 5 pa

PECVD Furnace


1) suministramos maquinas con soporte de tecnología de batería.

2) nosotros proveemos conjunto completo de equipo de batería de litio para investigación de laboratorio, investigación a escala piloto y producción lin mi.


laboratory muffle furnace


1 paquete estándar exportado: protección anticolisión interna, embalaje de caja de madera de exportación externa.

2 envío por expreso, por aire, por mar de acuerdo con los requisitos de los clientes para encontrar la forma más adecuada.

3 responsables del daño durante el proceso de envío, cambiará la parte del daño por usted de forma gratuita.